编辑: lonven 2018-02-06

5 4 (

1 9

7 7 )

2 S. G. Yo o n. H.G.Ki r i a . J .E , l e c uo c h e m So: .1 988, I 35| 3l

38 3 S o o r ~ 一Gi l yo o n . J o n s - Do. Pa r k . J . Va c . S c i . T e c h n o

1 . A .

1 9

9 1 , 9( 2)

4 M . Ok u y a ma. T. Us u k i . a n d Y , Ha ma k a wa . Ap p

1 . P h y s .

2 1,

3 3 9(

1 9

8 0 )

5 P . W . a I 丑pma n . J . Ap p j . P h y s .

4 0,

2 3

8 1 (

1 9

6 9 )

6 R. N. Ca s t e

1 ] a n o. L. G. F e i n s t a m + J . Ap p

1 . P h y s .

5 9,

4 4

0 6 (

1 9

7 9 )

7 Xi a o D. O., Ya o xi . F e r r o e l e c t dc s .1

0 8,

5 3(

1 9

9 O )

8 B f le r l e y C J . . T r u n d l eC. C o n s i d l n e L ., W b , a t mo r e R. W ., Ai n g e r . F. W . F e r r o e ~ e c t r i c s .

9 1,

1 8

1 (

1 98

9 )

9 Hi d e a k i Ad a c h i . K i y o mk a . W ASA. M a t . Re * . C o c . S y r up . P r o c , 2O O (

1 9

90 ) ( 编辑 : 刘 家凯 ) THE EXPERI M ENT RESEA RCH 0F PT THI N FI LM USED I N I NFRARED DETECT0R X i , a o s on g ( C h o n g q i n g Un i v e r s i t y ) X mo n a n ( C h o n g q i n g J i a n z h u Un i v e r s i t y) ABSTR ACT Th e p r e pa r a t i o n t e c hn ol o g y a n d t h e r m a l t r e a t m e n t PT t hi n f i l m us e d i n i nf r ar e d d e t e c t o r a n d p h o t o - e l e c t r o n d e v i c e s a r e s t u d i e d . T h e P T t h i n f il m p r e p a ~: l b y mu l t H o n b e a m r P _ ~ a c ― t i r e c o― s put t e r i n g a p p a r a t u s a r e a n a l y s i s e d b y x― r ay,XPS a n d EPM A・T h e i mp ur i t y o f Pb O ・ Pb t Ti

2 0 ' i n P T t h i n f il m i s e l e mi n a t e d a n d P b Ti O3 (

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1 )p r e f e r r e d o r i e n t a t i o n i s i mp r o v e d ・ Th e r e a ― s on a b~ t e p e r a t u r e of s u b s t r a t e s i s g i v e n i n t h i s p a p e r - KEY W CI RDS PT t hi n f Ⅱm .i n f r ar e d d e t e c or ,XPS l

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