PDF《MEMS 可燃气体传感器》

MEMS 可燃气体传感器 (型号:GM-402B) 使用说明书版本号:1.

0 实施日期:2014.12.1 郑州炜盛电子科技有限公司 Zhengzhou Winsen Electronic Technology Co., Ltd 声明 本说明书版权属郑州炜盛电子科技有限公司(以下称本公司)所有,未经书面许可,本 说明书任何部分不得复制、翻译、存储于数据库或检索系统内,也不可以电子、翻拍、录音 等任何手段进行传播. 感谢您使用炜盛科技的系列产品.为使您更好地使用本公司产品,减少因使用不当造成 的产品故障,使用前请务必仔细阅读本说明书并按照所建议的使用方法进行使用.如果您不 依照本说明书使用或擅自去除、拆解、更换传感器内部组件,本公司不承担由此造成的任何 损失. 您所购买产品的颜色、款式及尺寸以实物为准. 本公司秉承科技进步的理念,不断致力于产品改进和技术创新.因此,本公司保留任何 产品改进而不预先通知的权力.使用本说明书时,请确认其属于有效版本.同时,本公司鼓 励使用者根据其使用情况,探讨本产品更优化的使用方法. 请妥善保管本说明书,以便在您日后需要时能及时查阅并获得帮助. 郑州炜盛电子科技有限公司 MEMS 传感器系列 GM-402B MEMS 可燃气体传感器 产品描述 MEMS 可燃气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热 板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物 半导体材料.当传感器所处存在气体环境中时,传感器的电导率 随空气中被检测气体的浓度而发生改变.该气体的浓度越高,传 感器的电导率就越高.使用简单的电路即可将电导率的变化转换 为与该气体浓度相对应的输出信号. 特点 MEMS工艺、结构坚固 低功耗 高灵敏度 快速的响应恢复特性 简单的驱动电路 主要应用 适用于手机、电脑等消费类电子产品应用检测燃气泄漏;

也适用于用于家庭、商业用所的可燃气体泄漏 监测装置、气体检漏仪、防火/安全探测系统. 灵敏度特性 技术指标 检测气体种类 甲烷(CH4) :

1 C 10000ppm 丙烷(C3H8):1-5000ppm

1 10

100 1

10 100

1000 10000 灵敏度曲线 CH4 C3H8 (ppm) RS/R0 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 MEMS 传感器系列 气敏元件特性 符号 标准值 最小值 最大值 单位 传感器电阻 R0 -

100 1500 KΩ 气体(CH4)检测浓度 FS -

1 10000 ppm 灵敏度 S50 - 1.2

50 - 注:1. R0 是在环境温度23±5℃,环境湿度50±10%RH的标准工作条件下测得;

2. S50 即Rs(3000ppm CH4)/R0(in air)是在环境温度23±5℃,环境湿度50±10%RH的条件下,传感器在 3000ppm CH4气氛中的电阻值与传感器在洁净空气中的电阻值的比值. 条件 符号 参数范围 单位 最大加热功率 PH

80 mW 回路电压 VS 4.9 C 5.1 V 相对湿度范围 RH

5 C

95 %RH 工作环境温度 Ta -30 C

85 °C 储存温度范围 TS -40 C

120 °C 储存湿度范围 RH

5 -

95 %RH 名称 符号 标准值 最小值 最大值 单位 加热功率 PH

70 60

80 mW 加热电压 VH 2.8 - - V 加热电流 IH

23 - - mA 加热电阻 RH

77 70

87 Ω 传感器结构示意图 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 MEMS 传感器系列 推荐电路 使用说明: 1.预热时间 传感器需要时间达到内部的化学平衡所以需要一定的预热时间.一般来说,传感器在比较高的温度下会更 快的达到平衡,所以可以在最初开机的几十秒,可以给传感器更高的电压来预热.总的来讲,预热时间越 长则传感器精度越好. 2.传感器标定 对于绝对浓度测量,很多因素会影响到传感器的精度如传感器之间的基准电阻差异,灵敏度差异,温度, 湿度,干扰气体,老化时间等,因此需要定期标定.对于相对测量则不需要标定.因为传感器的特性曲线 是非线性的,所以推荐在全量程内进行多点标定并考虑温度和湿度的影响.当标定数据得到后,可以利用 引脚 连接 ① RH1 ② ③ RH2 ④ ⑤ RS1 ⑥ ⑦ RS2 ⑧ 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 MEMS 传感器系列 多项式或线性拟合来对数据进行整理. 注意事项: