PDF《MEMS 可燃气体传感器》

1 、必须避免的情况 1.1 暴露于可挥发性硅化合物蒸气中 传感器要避免暴露于硅粘接剂、发胶、硅橡胶、腻子或其它存在可挥发性硅化合物的场所.如果传感 器的表面吸附了硅化合物蒸气,传感器的敏感材料会被硅化合物分解形成的二氧化硅包裹,抑制传感器的 敏感性,并且不可恢复. 1.2 高腐蚀性的环境 传感器暴露在高浓度的腐蚀性气体(如H2S,SOX,Cl2,HCl 等)中,不仅会引起加热材料及传感器引 线的腐蚀或破坏,并会引起敏感材料性能发生不可逆的劣变. 1.3 碱、碱金属盐、卤素的污染 传感器被碱金属尤其是盐水喷雾污染后,或暴露在卤素如氟利昂中,也会引起性能劣变. 1.4 接触到水 溅上水或浸到水中会造成传感器敏感特性下降. 1.5 结冰 水在传感器敏感材料表面结冰会导致敏感层碎裂而丧失敏感特性. 1.6 施加电压 由过载电压引起的超过 120mW 的加热功率会对传感器造成不可逆的损害, 同时静电也会损坏传感器, 所以在接触传感器时要采取防静电措施.

2 、尽可能避免的情况 2.1 凝结水 在室内使用条件下,轻微凝结水对传感器性能会产生轻微影响.但是,如果水凝结在敏感层表面并保 持一段时间,传感器特性则会下降. 2.2 处于高浓度气体中 无论传感器是否通电,在高浓度气体中长期放置,均会影响传感器特性.如用打火机气直接喷向传感 器,会对传感器造成极大损害. 2.3 长期暴露在极端环境中 无论传感器是否通电,长时间暴露在极端条件下,如高湿、高温或高污染等极端条件,传感器性能将 受到严重影响. 2.4 振动 频繁、过度振动会导致传感器内部产生共振而断裂.在运输途中及组装线上使用气动改锥/超声波焊 接机会产生此类振动. 2.5 冲击 以诚为本、信守承诺 创造完美、服务社会 MEMS 传感器系列 如果传感器受到强烈冲击或碰撞会导致其内部断裂. 2.6 焊接 焊接过程中,使用含氯最少的松香助焊剂,并做防护措施对传感器加以保护. 违反以上使用条件将使传感器特性下降. 郑州炜盛电子科技有限公司 地址: 郑州市高新技术开发区金梭路

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