PDF《臣墨囝四阻》

000 Hz,0~V叻(V) 同步电压,4脚的移相电压为0.2~13 V,移相极性为移 相电压增加,输出导通角愈大;

第5脚为输出保护端,当第5脚电位≥12 V,6路脉冲全部被封锁,系统处于保 护状态,当第5脚电位≤3 V时,系统正常工作;

第6脚 为半控单脉冲、全控双脉冲选择端;

第7~12脚分别输 出触发A,--C,B,一A,C,一B的触发脉冲;

第13脚接 电容Cx确定输出脉冲的宽度,电容越大脉冲越宽;

第14~16脚接的积分电容,为保证锯齿波的一致性, 3个电容相对误差应控制在5%以内[2]. 4提高触发控制精度的电路分析 尽管我国的晶体生长设备的自动化程度有了很大 提高,但是在常规的直拉法温度控制环节的设计上还存 在以下问题:控制回路多为简单闭环控制,抗干扰能力 弱,控制精度低;

控制电路均为模拟电路,自动化程度不 高;

对功率的手动调节常滞后于系统对温度的实时要 求.所以本文着重从同步电压获取、移相触发控制和闭 环控制3个主要电路上做出改进,使设备的可靠性、精 确性和智能性从整体上得到提高. 4.1 同步电压获取电路 本设计根据主回路变压器A/Y11连接方式将同步 变压器接成Y/Y10.图2仅为同步电压获取电路中的 一路(共三路).作为三相全波整流,要求三相同步变压 器接法与主回路同步,采用该种连接方式后可以使同步 电压较主电路电压超前30.,这样在同步电压经过阻容 低通滤波电路后,即使带来相位上约45.的滞后,仍可 以在调节电位器和改变滤波电容值的方式下确保获取 的同步电压信号与主回路的三相电压同步,三相同步电 压获取电路见仿真图3所示. 该设计中同步电压取为30 V,对称性可由电位器 R.调节,同步电压的零点设计为1/2电源电压,以满足 TC787在单电源供电的情况下,8~18 V的电压范围 (电路输入端同步电压峰值不宜大于电源电压),然后将 同步信号用无极电容耦合到TC787的第1,2,18脚,再 通过TC787内部的过零检测和极性检测单元检测出零 点和极性后,作为内部3个恒流源的控制信号;

3个恒 流源输出的恒值电流给3个等值电容e,C6,e(电容 的相对误差要小于5%)[23恒流充电,由于采用集中式 恒流源,所以误差极小,产生的锯齿波具有良好的线 性[3].锯齿波形成单元输出的锯齿波与移相电压V,比 较后取得相交点,该相交点经集成电路内部的抗干扰锁 定电路锁定,保证相交惟一稳定,然后该相交信号再与 脉冲发生器输出的脉冲信号经脉冲形成电路处理后变 为与三相同步信号相位相对应,且与移相电压相适应的 脉冲信号送到脉冲分配器,输出的脉冲触发达林顿集成 芯片ULN2803,形成6路峰值为24 V的强触发脉冲,该 信号再经脉冲变压器隔离,最终输出的双触发脉冲可以 可靠地触发系统整流部分采用的大功率晶闸管.该部 分减少分离元件的使用,更多的采用了集成芯片,在设 计上更为紧凑、合理,电路触发更为精确、可靠. 尼图2 同步电压获取电路 Inl 八l'

/―\ l'

八30V \ / \―/ 一

30、 outl /、 /7~? 、\√ /p 15y \. 0y 15V oul2 ―\ √ /^\ √ 0y / out3 / ―~、 /7 、、 15y 图3三相同步电压获取电路仿真图 4.2移相触发控制电路 移相触发控制电路的工作原理:单片机将预定的电 压输出值V...以给定信号的形式通过DACl208输出, 在相加器中与反馈的电压信号V;

.叠加后,形成移相控 制电压y,,