编辑: yyy888555 2018-10-19

电压范围为0.2~13 V,移相极性为移相电 压增加,输出导通角口愈大,该控制电压经单片机在晶 闸管专用触发芯片TC787的4脚形成强触发脉冲,达 到输出多路同步导通,以此来控制可控硅的导通时刻, 从而使整流桥输出可变的直流电压'

21;

且整流桥的触发

7 万方数据 脉冲同步信号取自负载回路,所以在负载回路参数发生 变化时,该装置通过内置于数字控制器的PID算法,自 动调节整流桥的触发角口以改变整流桥的输出电压,最 终达到平滑调节电源输出功率的目的.控制电路硬件 结构框图如图4所示. I声光报警卜 数字控悃.刍…压…I LCD/键盘b 制器图4控制系统硬件结构框图 4.3双闭环控制电路 系统电气控制部分的设计采用双闭环反馈控制结 构(如图4所示).这种控制结构与单回路控制系统的 显著区别是,它在结构上形成2个闭环,一个闭环在里 面,称为副回路.采用该种控制结构,可以抑制控制系 统的干扰,对负荷和操作条件的变化适应性强,控制质 量高.这种结构不但可以将实时采集的电压信号输入 到相加器中,对系统给定的电压信号y...进行修正,同 时还可以反馈到A/D转换电路,通过单片机进行分析 处理.单片机利用系统现场反馈回来的电压、电流值计 算出即时的平均功率值P(P―UICOS口,对于纯阻性负 载COS口一1),再送I.CD显示,工作人员就可以随时查 看输出功率,看其能否满足单晶生长过程中某些特定阶 段对温度精度提出的要求,如果该值过大或者过小,都 可以调用预先设定在程序存储器中的子程序对预设的 输出电压值V..进行自动调节.并且80C196 kB具有

12 MHz的工作频率,可以达到对数据的实时处理,确 保了系统调节与显示的实时性、同步性. 5结语 通过应用模拟电路及微机控制技术实现了对于控 温精度要求很高的ZLD一80型直拉单晶硅炉加热电源 的电气控制部分的设计.在设计过程中,采用单片集成 电路TC787作为三相全桥可控硅电路的触发芯片,缩 小了设备的体积,提高了整机寿命;

同时利用 80C196KB强大的处理能力,以及扩展的键盘/显示电 路、通信电路等组成了该电源的智能控制部分,这样不 但使得该加热电源在操作上更加简单方便,而且还使其 具有了更高的实时性与精确性. 参考文献 [1]Millind S Kulkarni.A Selective Review of the Quantification of Defect Dynamics in Growing Czochralski Silicon Crystals [J-I.MEMC Electronic Materials,2005,44(16):6 246―

6 263. [2]梁秀梅,于平义.TC787触发块的特点及其在单晶炉控温中 的应用[J].电子工业专用设备,2001,3(1):34―37. [3]董业庄.相位控制电路TC787和TC788的研究及其应用 [J].电力电子技术,1994(3):41―49. [4]刘润,谭薇,程荣贵.一种高精度数控直流源的设计[J].现 代电子技术,2006,29(7):135―137. 作者简介胡洁微女,1980年出生,辽宁营口人,硕士研究生.主要研究方向为检测技术与自动化装置. (上接第2页) 了异步和同步传输.IEEE已经推出1394b标准, 1394b的最高速度可以达到3.2 Gb/s,有效传输距离延 长到100 m,而且有些公司已经开始推出1394b控制芯 片.该系统不但实现了设备端与PC主机之间数据的 高速传输,同时还为1394b传输系统的设计和实现提供 了有效的铺垫. 参考文献 [1]胡云.对IEEEl394总线技术的研究[J].科学技术与工程, 2007,7(3):299―302. [2]张尚启.基于IEEE一1394接口的实时图像采集系统的研究

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