PDF《及 常见 故障排除》

第14卷第

2 期2008年

0 6月分析测试技术与仪器 Vo l u me

1 4 Nu mb e r

2 ANALYS I S AND TE S TI NG TE CHNoLOGY A N D I NS TRUME NTS J u n e

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0 8 大 型仪鼍堆修与维护 (

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6 ) J S M一5610LV扫描 电镜 的 日常维护 及 常见故 障排除 李剑 平,杨咏 东(烟台大学 光 电信 忠科学技术学 院, 山东 烟台264005)摘要:在扫 描电子显微镜 的 日常维 护管理 中, 应 当控制好室 内环境 因素 , 保持 电镜 内部长期 处高真空 状态 , 定期 检查其附属设备是否达到要求.

介绍 电镜经常 出现 的死机 、 黑屏显示 图像不 正常等故 障的捧除方法. 关键词 :扫描电子显微镜 1日常维护管理 I故障 的排 除 中阻分类号 :T NI

6 、文献标识码 : A 文章编号 :

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0 2 随着科学技术 的发展, 电子显微镜 的应用越来 越广泛, 对技术革命 、 尤其是对纳米技术的发展起到 巨大 的推 动作用,但电子显微镜精密复杂、价格昂贵,这就需要专 门的管理 、 使用 、 维修知识 , 保证 其处于正常的工作状 态, 更好地服务于科研、 生产. 本文针对日本 电子 的JSM-

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1 0 L V 扫描 电镜 , 简谈 一下 其 日常维护及常见故障的排除.

1 日常 维护(1)保持电镜 室洁净 、 无尘 , 采 用空 调、抽湿等 手段,控制好室内环境因素 , 使室 内温度在

1 5 ~2 5℃ 之间,湿度在

5 0 以下. (

2 ) 长期 保持 电镜处 于一 定 的真 空状 态,真空 度一般要求在loTorr以上[

1 ] .既是 电镜 在不工作 期间,也要定期 抽 真空 , 雨季里5d抽 一次,其它季节7d抽一次 , 以防电镜镜筒及能谱仪 内部元 器件 锈蚀 . (

3 ) 经常检查 机械泵 ( D P ) 的油液面 , 看其液面 是否在窗口油位刻线 的水平上 , 若在窗 口油位刻线 的水平下, 应马上添加机械泵油 , 如果观察到机械泵 窗 口油 呈茶 色,应马上 更换 机械泵 ( D P ) 油. (

4 ) 定期 更换 电镜 内的扩散 泵(RP)油[

2 ] . (

5 ) 定期清洗镜筒 内的活动光 阑、 样 品台、 电子 枪室等易受污染的部件 , 确保电子光路正常工作. 在 清洗的时侯 , 光阑用真空喷涂仪加热清洗 , 样 品台和 电子枪室用棉球蘸酒精、 丙酮 1: 1混合液擦洗. (

6 ) 定期检查循环水状况, 水位低于警戒线 , 应 马上添加纯净水 , 若循环水混浊变质 , 应马上更换循 环水,防止循 环系统堵塞和结垢,影 响水 循环系统 的工作 效率 . ' (

7 ) 定期开启 电镜不常用 的背散射电子成像系 统、成分 成像 系统 、 拓 扑成 像系统、立体成像 系统 等 功能系统 , 防止电气元件老化. 每次开启时间不应少 于lh.(8)定期 检测电镜 的X射线是否泄漏,加强防护措施 , 保障人身安全.

2 常见故障的排除 当电镜出现故障后 , 首先应判断故 障的大体部 位或原因 , 然后逐级检查, 将故障的范围最大限度地 减少,最后查 出故 障 的原 因或具 体 的元件 , 进而 把问题解决 . 以下 是 日本 电子 的JSM-

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1 0 L V 扫描电镜 的几种常见故障排除方法.

2 .

1 故障1故障现象 : 屏幕显示图像 , 但图像抖动 、 模糊不 清,且上下 隔行不 清晰. 原因 :使 图像 不清的原 因很 多,本例 的原 因是在操作过程中,无意启用了动态聚焦平衡(Dy n a mi c F o c u s C o r r e c t i o n ) 功能,电镜 产生交变磁场 , 使焦距 抖动,致图像抖 动、模糊不清[