PDF《及 常见 故障排除》

3 ] , 且上下隔行 不清晰.解决方法 : 关闭动态聚焦平衡功能. 收稿 日期 :

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1 4 ~ 修订 日期 :

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1 6 . 作者筒介 : 李剑平 (

1 9

6 3 - -) , 男 ,大专 , 实验 师,主要研究方 向扫描电子显微镜. 维普资讯 http://www.cqvip.com 分析测试技术 与仪器 第14卷

2 .

2 故障

2 故障现象: 死机, 焦距、 放大率等功能键都失灵 , 不起作 用, 特 别是 电镜 的钨 灯的电源 开关OH/ R e a d y关不 了. 原因: 调放大率过快等误操作 , 致 电镜 的相关 程序 不通 畅. . 解决方法: 关闭电镜, 重新启动电镜.

2 . 3故障3故障现 象 :电镜 开机加压 点灯时,屏幕不显示图像―― 黑屏. 原因:灯丝烧断不通电或屏幕显示 的亮度和对 比度 不合适 . ・ 解 决方 法 :首 先打开电子 枪(Gun)图标 , 检查钨灯丝好 坏(是否通 电) , 若不 通电,说明钨 灯 丝烧 了,则要 更换灯 丝;

若通电, 则调整对 比度 和亮 度直至调出图像 且清 晰.

2 .

4 故障4故障现象:电镜样品台 z轴显示值为零, AF C、 AC D、 AS T等 自动 功能无 法实施 . 原因:电 镜的EOS 电路板的A/ D 转换器MP

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7 5 AN 功能异 常,无法 实施 自动 功能 , Z s e n s o r 无输出. 解决 方法 : 更换 电镜 的EOS电路 板的A/ D转换器MP

8 7

7 5 AN.

2 .

5 故障

5 故 障现象 :电镜 在 实施 扫描过程中,当SPOT S I Z E数 值设置是

1 6 时,显示 的图 象正常;

当SPOT S I Z E数 值设置大 于17时 , 显示 的 图象 抖动,并且伴放电现象. 原因:电镜 的钨灯丝快 烧断了, 呈若 即若离的 状态 , 通过钨灯 丝 的电流失 调[引, 从 而激发 出来 的电子不稳定 , 当S P OT S I Z E数值设置大于

1 7时, 初级 磁透镜对 电子柬进行汇聚也就不稳定 进而影响成 像 效果. 解决方法 : 更换 电镜 的钨灯丝, 进行对 中等一 系列调节 即可.

3 结语 具有高度的责任心, 搞好 电镜 的日常维 护,具 备一定的故障排除技能 , 是 电镜操做人员的基本要 求.只有做到这几点 , 才能更好地发挥电镜作用, 为 科研 服务. 参 考文献 : ' [1 ] 马金鑫 , 朱 国凯. 扫描电子显 微镜入 门[ M] . 北京:科学出版 社,1985.62.[2] 朱宇.电子显微镜 的 日常维 护及故 障的检修[ J ] .内 蒙古石 油化工 ,2

0 0

0 ,(

3 ) :8

3 . [3] 朱祖福 . 电子显 微镜 [ M] . 北京 : 机 械工 业 出版社 ,

1 9

84 .56 . [4] 李剑平. J S M-

5 6

1 0 L V扫描 电镜 的一般故 障排 除[J].仪器仪表用户 ,2

0 0

7 ,

1 4 (

3 ) :

1 4

6 . [5 ] 王化正 , 李玉生 . 现代分析仪器维修手册[ M] . 北京 :・ 航空工业出版社 ,

1 9

8 8 .

4 1

5 . [6 ] 刘跃华 , 徐彦平.J S M- T

3 0 0扫描 电镜维修 四例[ J ] . 电子 显微学报,1998,17(5):672―673.Da i l y M a i n t e n a n c e a n d Fa mi l i a r F a u l t s Cl e a r a n c e o f J S M - -

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1 0 LV LI J i a n - p i n g,YANG Yo n g - d o n g ( I n s t i t u t e o f S c i e n c e a n d Te c h n o l o g y f o r Op t o - El e c t r o n I n f o r ma t i o ~, Ya n t a i Un i v e r s i t y , Ya n t a i

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0 5,Ch i n a ) Ab s t r a c t :Du r i n g t h e d a i l y ma i n t e n a n c e a n d ma n a g e me n t o f S EM ,we s h o u l d b e t t e r c o n t r o l t h e f a c t o r s o f t h e i n d o o r e n v i r o n me n t a l a n d k e e p t h e i n t e r i o r o f S EM a t a h i g h v a c u u m s t a t e a n d c h e c k t h e a n c i l l a r y e q u i p m e n t wh e t h e r t h e y r e a c h t h e d e m a n d s o r n o t t e r m l y . F i n a l l y,t h e me t h o d s o f f a u l t c l e a r a n c e s u c h a s h a l t ,b l a c k s c r e e n a n d i ma g e s h o w a b n o r m a l i t y o f S EM i s i n t r o d u c e d i n t h i s p a p e r . Ke y wo r d s :S EM ;