PDF《LINEX》

LINEX 在线湿法处理设备适用于 PERC - HJT C TOPCon CTandem 等新型电池的清洁工艺 LINEX 适用于清洁、碱性与酸性蚀刻、单面加工、抛光蚀刻、 去磷硅玻璃和臭氧应用的在线湿法处理设备 PV 技术为世界发电 德国新格拉斯科技集团为晶硅和薄膜高效太阳能电池 平台提供技术解决方案.

德国新格拉斯科技集团为客户提供适用于生产晶硅和 CIGS/CdTe太阳能电池的设备,携手世界各地的电池 制造商共同改进生产工艺,在提高太阳能电池的效率的 同时降低生产成本.电池概念方面的进化,如PERC - HJT C TOPCon CTandem等电池将驱动晶硅太阳能电 池的未来.集团核心技术包括真空薄膜涂层(PECVD, PVD, 蒸发)、表面工程、湿法化学处理和热加工等专有 技术. 未来电池概念:TOPCon太阳能电池 隧道氧化层钝化接触(TOPCon太阳电池)基于覆盖 掺杂硅薄膜的超薄隧道氧化层,具有优良的钝化和接 触性能.到目前为止,该电池效率已达到25.7 %. 德国新格拉斯科技集团为TOPCon高效太阳能电池生产 提供重要生产步骤:在线湿法处理和真空沉积(PVD & PECVD). LINEX 在线湿法处理设备 TOPCon Solar Cells LINEX 在线湿法处理设备 德国新格拉斯科技集团为用于标准及高效电池生产线 的硅晶片湿法处理提供完整的自动化干进/干出解决 方案. 不断完善的工艺管理理念和创新解决方案的集成为新 一代水平式湿法处理设备的开发奠定了基础. LINEX为在线湿法处理平台,配备水平式硅晶片运 输系统,是对先进的运输系统、可持续的创新工艺模 块与成熟而有效的化学蚀刻和清洁工艺进行的完美结 合. 除了这些成熟的工艺,设备还适用于单面处理、抛光 蚀刻、发射极蚀刻和臭氧处理等新型应用.高度集成 的设计、高产能、高可靠性和低破损率使LINEX获得 世界各地的太阳能电池制造商青睐. 标准性能特征 → → 可作研发工具,完全集成后为10道设备 → → 在5道或10道设备中碱化工艺可达90 °C → → 抛光蚀刻至10 ?m → → 臭氧集成 → → 晶圆表面介质流动均匀 → → 线路流动条件一致 → → 易集成新/附加工艺选项 → → 最高可达98 %的稼动率 → → 高产量和最优性能 → → 低运行成本 → → 低至0.01 %的破损率 → → 占地面积小 LINEX 工艺应用 最终清洗(单晶硅/多晶硅): 晶片隔离后用超声波&添加剂清洗硅片 碱性制绒(单晶硅): 超短工艺时间,出众的美学效果 单面蚀刻 : 适用于TOPCon应用的a-Si单面蚀刻 单面抛光(单晶硅/多晶硅): 高达5 ?m的酸性或碱性背面抛光 臭氧 : 先进清洁技术 Advanced Production Methods for Crystalline Solar Cells Load Rinse Postclean Rinse Dry Unload Alkaline/ Additive Ultrasonic LINEX Final Clean Load Preclean Rinse Rinse Rinse Dry Alkaline Tex SINGOZON Unload LINEX ALTEX Load DW-Tex Rinse Rinse Dry SINGOZON Unload LINEX DW Load Single Side Etching Rinse Rinse Dry SINGOZON Unload LINEX SSE/PSG Load Rinse Postclean Rinse Dry Unload Alkaline/ Additive Ultrasonic LINEX Final Clean Load Preclean Rinse Rinse Rinse Dry Alkaline Tex SINGOZON Unload LINEX ALTEX Load DW-Tex Rinse Rinse Dry SINGOZON Unload LINEX DW Load Single Side Etching Rinse Rinse Dry SINGOZON Unload LINEX SSE/PSG LINEX ALKALINE SSE LINEX 技术参数 最终清洁

5 道(Mono)

5 道(Multi) 产能

5000 wph

5000 wph 速率

3 m/min

3 m/min 占地面积

9800 mm

6400 mm LINEX ALTEX Mono