PDF《（！！！)择优取向的 铁电》

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87 薄 膜的择优取向, 因此选用 4'*-! 作为过渡层, 厚度不 宜太厚&当45

87 薄膜在 1-$%退火时, 由/1$7物理学报-- 卷 于过渡层是 (!!!) 择优取向的, "# ./ 薄膜 将(!!!) 择优取向0 如果过渡层不能提供足够多的 (!!!) 择优取向的籽晶, 那么 "# ./ 薄膜 也会沿着 (!&&) 、 (!!&) 方向生长0 这就是为什么当 "$*() 过渡层的厚度是

123 时, "# ./ 薄膜(!!!) 择优取向并不十分显著0 !"#"$% .! 薄膜 /01 分析 图)是不同厚度 "$*() 过渡层的 "# ./ 薄膜的456 图: "$*()7&, "$*()7!, "$*()7) 和"$*()7/ 薄膜分别对应图 ) 中(8) , (#) , (9) 和(:)

0 比 较图 ) 中的 (8) 和(#) , "$*()7! 薄膜的表面形貌与 "$*()7& 薄膜相比几乎没有差别, 然而仔细观察图 ) (#) , "$*()7! 薄膜的表面有一些 "鼓包" , 我们认为 这是由于 "$*() 过渡层提供的籽晶所致, 但是由于 过渡层只有大约 123, 能够提供的籽晶并不多0 当"$*() 过渡层的厚度增加时, 过渡层中的 "籽晶" 会 越来越多, 从图 ) (9) 和图 (:) 可以看到, "$*()7) 和"$*()7/ 薄膜的结晶程度大大改善, 平均晶粒直径 远大于 "$*()7& 薄膜0在图 ) (9) 中, 还可以观察到大 的晶粒之间, 镶嵌了一些小的晶粒, 我们认为主要是 因为 "$*() 过渡层的厚度比较薄而没有形成连续的 过渡层薄膜0 图)(:) 中并没有出现类似现象, 这时 "$*() 过渡层的厚度已经足以使得过渡层形成连续 的薄膜0 图)不同厚度 "$*() 过渡层的 "# ./ 薄膜的

456 图!"!"$% .! 薄膜介电频谱 在常温下, 用;

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