PDF《MSF》

180 N1

30 30

40 40 N2

20 20

25 25 O1 8.5 8.5

12 12 O2

10 10

10 10 P -

30 -

30 30 -

36 36 -

36 36 - Q1 M8/

12 M8/

12 M8/

12 M8/

12 Q2 ? 6.6/?

11 ? 6.6/?

11 ? 6.6/?

11 ? 6.6/?

11 薄膜卡盘的基爪 N1 A P B C N2 G F O2 H E Q

1 Q2 J K L M O1 D 卡盘尺寸

210 260

315 400 外部夹持 外部夹持 外部夹持 外部夹持 夹持嵌件 I II III I II III I II III I II III 物料编号 1)

499968 499969

499967 499968

499969 499970

499971 499972

499970 499971

499972 a -

55 42

62 55

42 70

62 42

70 62

42 b

50 50

60 60 c

35 35

40 40 d

20 20

20 20 j -

45 32

52 45

32 60

52 32

60 52

32 k

10 10

10 10 n1

30 30

40 40 n2

20 20

25 25 o1 8.5 8.5

12 12 o2

10 10

10 10 p - - -

30 - -

36 - -

36 - - q1 - ? 9/15 - - ? 9/15 - ? 9/15 ? 9/15 - ? 9/15 ? 9/15 - q2 - - M6 /10 - - M6 /10 - - M6 /10 - - M6 /10 r - 20/30o - 20/30o 20/30o - 36/30o - - 36/30o - - 基爪 I - 20-70 45-84 40-57 86-110 55-110 80-120 50-70 100-130 66-130 106-

150 135-155 185-215 151-

215 191-

235 基爪 II - 80-130 105-

144 100-117 145-170 115-170 140-

180 122-142 166-202 138-202 188-222 207-227 250-287 223-

287 273-307 基爪 III - 92-142 117-160 120-137 165-190 135-

190 160-200 157-177 200-237 173-237 213-260 242-262 285-322 258-

322 298-345 基爪的夹持嵌件

30 c o

1 b r n1 j a k d q

1 n2 q2 o2 1) 尺寸为

215 时不适合 带基爪 HSK 和夹持嵌 件的夹持能力 卡爪尺寸和夹持容量 MSF 基爪 I - 20-70 45-84 40-57 86-110 55-110 80-120 50-70 100-130 66-130 106-

150 135-155 185-215 151-

215 191-

235 基爪 II - 80-130 105-

144 100-117 145-170 115-1........