PDF《基于太赫兹片上系统微带线的设计与仿真》

2 幅关系曲线图趋势是一样的,由此可证明 仿真结果的准确性. Fig.3 Model of MSL 图3微带线模型 z y 第2期张聪等: 基于太赫兹片上系统微带线的设计与仿真

181 太赫兹波在微带线中传输损耗与金属层厚度的关系见图 5,在微带线中金属层厚度在0.228~ 1.228 μm 范围内,随着金属层厚度 的增加,太赫兹波在微带线中的传 输损耗减小.由此可知,当金属层 厚度为 0.228 μm 时, 太赫兹波在微 带线中的传输损耗最大. 太赫兹波在微带线中的传输损耗与介质层厚度的关系见图 6, 在微带线中介质层厚度在 2~12 μm 的范围内,介质层越厚,太赫兹波 的损耗越小.由此可知当介质层厚 度为

12 μm 时,太赫兹波在微带线 中的传输损耗最小.

4 结论 将太赫兹产生、 太赫兹探测以 及传输波导集成到同一芯片上的太赫兹片上系统,弥补了传统太赫 兹时域光谱系统分辨率低、占用空间大、样品消耗多的不足.通过 HFSS 仿真软件研究了所设计微带线的尺寸参 数对太赫兹波传输损耗的影响.仿真结果表明,微带线中的传输损耗随着传输长度和频率的增加而增加,随着微 带线金属层厚度与介质层厚度的增加而减少.总之,基于太赫兹时域光谱技术的小型化目前还处于初级阶段,从 长远来看,微带线与金属波导相比具有体积小、质量轻、使用频段宽、可靠性高和制造成本低等特点,使其易于 与太赫兹其他组件集成,实现太赫兹时域光谱........