PDF《新型环面节流静压气体球轴承压力 分布的实验研究》

5 Λ m , 含尘 个数每升小于 3.

5 粒;

含油量小于 0. 3*10-

6 (V V );

含湿量, 即常压露点小于-

55 ℃;

压力波动小于工作 压力的 10%. 为满足上述要求, 本试验台的气源除了 安装通用的冷却器、 油水分离器、 气罐、 主管路过滤器 和空气过滤器等初步净化装置外, 还配备日本 SM C 公司生产的最高精度的气源处理系统[7 ] , 该系统由油 雾分离器、 微雾分离器、 高分子隔膜式干燥器、 超微油 雾分离器和除臭过滤器等组成 . 油雾分离器用于分 离主管过滤器和空气过滤器难以分离的、粒度 0.

3 ~ 5.

0 Λ m 的气状溶胶油粒子及大于 0.

3 Λ m 的锈末和 碳类微粒 . 气源处理系统之后的管路上串联有 SM C 公司生产的精密型内部先导........