PDF《华夏之鹰 雄视长空》

靠等, 等不来先进的武器装备. 作为一位无人 机研究者, 他能做的, 唯有立足国情、 放眼世界、 大 胆创新、 不断求索.尽管年逾古稀, 目前, 他仍然带 领着科研团队展开新型无人机项目研制, 力求使 我国无人机事业再上一个新台阶. 阴文 /朱魁 刘波 回国故事

2001 年初的某一天, 日本东京, 年近

40 的李 艳秋在一份日本中文报刊上看到一则来自祖国母 亲―― ―中国的新闻,新闻以热烈祝贺的语气报道 了华虹 NEC

250 纳米芯片生产线的成功.当时的 李艳秋并没为此而感到高兴,相反却是黯然泪下, 一种屈辱感在她心里油然而生. 为什么会有这样的反应?只有她心里最清楚 个中的滋味!因为当时, 作为日本尼康公司高级工 程师的她,已经在为日本研发 70~50 纳米的极紫 外(EUV) 光刻机, 负责光刻机光学系统、 像差检测 技术和掩模缺陷检测技术中的光学设计了.

250 纳米和

50 纳米,中国与日本在光刻研究 领域相差了何止一代, 是好几代! 三十功名尘与土, 八千里路云和月.莫等闲, 白了少年头, 空悲切. 一面是技术落后的祖国, 一 面是自己身为中华儿女却未能将自己所长贡献于 国的遗憾!怎叫素有爱国情怀的李艳秋不潸然泪 下?沉痛过后, 她马上了解了当时中国光刻技术和 设备的研制情况, 查阅国际会议论文, 发现鲜有中 国大陆的作者. 当她在网上搜索到中科院电工所已 经获得

100 纳米的电子束曝光研究结果时, 非常高 兴, 于是写信给电工所室主任张福安, 并表示: 如果 他们有机会到日本交流取经, 她愿意尽自己的绵薄 之力! 不久, 中科院有了回应, 并向李艳秋抛去了橄 榄枝, 建议她回国申请科学院的 百人计划 资助项 目. 之后李艳秋在日本与中科院微电子所所长叶甜 春、 光电院院长曹建林见面和交流, 两位领导告诉 她, 国家正在策划开展光刻机研制, 这更坚定了李 艳秋回国的决心.

2002 年2月, 在祖国需要的召唤下, 已近不惑 之年的李艳秋放弃在海外优越的生活条件, 踏上了 回国的征程. 谁说女子不如男, 精忠报国, 婵娟夺冠古今 长 , 怀揣着在海外工作多年所学到的先进知识, 怀 抱着一颗报效祖国的责任心,

2002 年, 李艳秋踏上 了归程. 忆当年, 师夷长技以自强 一百多年以前, 爱国志士林则徐、 魏源等人因 目睹帝国列强掠夺、 国破山河、 民不聊生的惨状, 喊 出了 放眼世界 、 师夷之长技以制夷 的口号.而今, 新中国逐渐强大, 师夷之长技以制夷 被演变 成了另一种同样极具意义的口号―― ― 师夷长技 以自强 .李艳秋就是遵循 师夷长技以自强 精髓 而成长起来的物理学和光学领域的研究专家. 李艳秋,

1962 年9月生, 早年间曾就读于哈尔 滨工业大学,

1982 年~2002 年曾任哈尔滨工业大 学助教、 讲师、 副教授.1997 年, 她踏出国门, 先后 在日本理化学研究所、 姬路工业大学、 尼康公司等 单位分别任研究员、 副教授、 高级工程师. 海外的深 造和工作经历使她充分接触到了国外先进的专业 技术知识. 从20 世纪

90 年代末始, 李艳秋开始从事光学 设计、 高分辨成像与先进光刻技术研究、 100-32nm 光刻模拟与协同设计关键技术研究、 波像差检测技 术及仪器的研制工作.凭借勤奋好学的品性及聪 慧, 她在这一系列的工作中崭露头角, 作出了令业 界刮目相看的成绩: 在高分辨 EUVL 系统光学设计中, 她为 Hiroo Kinoshita 教授在国际上最早获得