PDF《检漏方法简介……………4 ……………4》

. 1.2.3. 实际存在的问题 高效过滤器一般都在系统风量和各风口风量调整平衡后进行,根据规范要求各风口风量与设计的 风量偏差小于 15%,这满足被检风口在接近设计风速下进行的条件.所以当风量平衡好后要及时进行 高效过滤器泄漏的检测工作. MIC Cleanroom Testing Ltd. Tel:010-59753306/07/08 Fax:010-59753309 www.mictest.cn

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9 在工程上,对于大于

100 级的净化系统一般采用的粒子计数器的最小粒径通道为 0.3μm.所以, 被检高效过滤器在上风侧的微粒浓度受控粒径为≥0.5μm,其浓度必须≥3.5*10

4 pc/L,而一般大气尘 的浓度为 5.3*10

4 -2.5*10

5 pc/L,这到了粒子计数器的读数上限范围. 在许多净化系统中,进入循环空调箱的新风经过过滤器的处理,浓度远远小于大气尘浓度,和回 风混和后的浓度会更低.因此,在安装好的净化空调系统中引入大气,是值得慎重思考的问题.为了保 证被检空气过滤器上游粒子浓度要求,而不破坏系统风量的平衡,在上游引入均匀浓度的人工气溶胶是 理想的手段.引入的气溶胶浓度到底需要多少,这其实跟安装的高效过滤器的效率和粒子计数器的分辨 率有关.粒子计数器最小位是个位,最小数为零.测试仪器一般都会有死区,如果要求的下游浓度小于

10 颗为合格,这些数据是否有效,按照统计学的原理是很难保证的. 现在,国内大多以美国 DOP 试验对 0.3μm 粒子的过滤效率作为高效过滤器的分类.所以采用计数 扫描法检漏时,被测粒径应≥0.3μm,这对上游浓度的要求更好.按高效过滤器的效率 99.97%,下游 浓度保证三个有效数字以内,则要求上游空气中粒径≥0.3μm 的微粒浓度至少约为 6*10

4 pc/L.如果 采用效率 99.99%效率的高效过滤器,上游≥0.3μm 的微粒浓度约为 2*10

5 pc/L,这时上游≥0.5μm 的 粒子浓度,远远≥3.5*10

4 pc/L.所以,采用大气作为尘源已经不能满足测试要求. 1.2.4. 大流量的粒子计数器更适合用来检测高效过滤器的安装泄漏,空气采样量越大,测试结果就 越具有代表性,准确度也就越高.规范要求的采样量是 1l/min,而我们多使用的采样量是 0.1cfm (2.83l/min),以此满足测试仪器的要求,但这样会影响到检漏的工作效率.以610*610 高效过滤 器为例,使用移动采样头在高效过滤器下侧采样时,采样速度 20mm/s,矩形 100*11.33 采样器至少需 要244 秒;

圆形采样器的采样速度更慢,检漏扫描所用的时间更长.而ISO14644-3 《metrology and test methods》计算扫描速率和可接受观测计数法的计算法则对一般工程技术人员来说又比较难掌握,所以,今后国家在制定这方面的规范时,对不同级别的高效过滤器,建议采用合适的采样速率和可接受 观测计数,方便工程测试人员实际操作. 1.2.5. DOP 粒子扫描正压检漏法 检测人员必须注意规范中要求的采样时间、上游粒子浓度等参数在实际应用中的可操作性.在参 与某一制药厂净化车间高效过滤器的检漏时,结合日本 JIS-b-

9927、美国 Fedstd-209d 标准,采用 laskin DOP 粒子发生器产生大量稳定的符合要求的微粒子,以造成上游≥0.3μm 粒子浓度大于或等于 1*10

5 pc/L.在过滤器上游通过压缩空气(冷发生)将DOP 微粒均匀喷射在系统内,由于浓度一般大于 1*10

5 pc/L,超出检测仪器测量范围,所以在检测仪器前串联粒子浓度稀释器,使被测浓度在检测仪器 测量范围.对出厂效率为 99.97%的高效过滤器检漏时,实测所得透过率应低于 0.06%,即实测所得颗 粒浓度小于 0.06%C1(C1 为上游浓度).粒子发生器在过滤器上游所发出的粒子浓度≥0.3μm 时为 3.3*10