PDF《PIMars纳米定位平台》

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06.2018 用于多达3轴的高精度纳米定位系统 应用领域 ? 扫描显微镜 ? 掩模/晶圆定位 ? 干涉测量 ? 测量技术 ? 生物技术 ? 扫描和筛选 PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命 专利的PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘.这可以防潮,避免漏电流增大造成故障.PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍.它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环. 带电容式传感器,实现亚纳米分辨率 电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触.它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽. 零间隙柔性铰链导向带来高导向精度 柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑.它们的刚性可实现高负载能力,且它们对冲击和振动不敏感. 它们百分百真空兼容,可在很广的温度范围内工作. 自动配置和快速部件更换 机械部件和控制器可按需组合、快速更换.所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub- D连接器的ID芯片中.每当控制器启动时,数字控制器的自动校准功能就会使用这些数据. P-561 ? P-562 ? P-563 PIMars纳米定位平台 ? 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度 ? 行程达300 *

300 * 300微米 ? 电容式传感器带来最高线性度 ? 零间隙,高精度柔性铰链导向系统 ? 优异的扫描平面度 ? 高动态XYZ版本 ? 通孔尺寸66 毫米*66毫米 ? PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命?超高真空版本达10-9 百帕 20.06.2018 并联位置测量实现纳米级的高跟踪精度 各自由度均相对于单一固定参考进行了测量.对其他轴的不良运动串扰均可得到实时主动补偿(取决于带宽)(主动 导向).即使在动态操作中,跟踪精度也可高达纳米级. 适用于复杂真空应用 压电陶瓷系统中使用的所有部件均非常适合于在真空中使用.操作无需润滑剂或润滑脂.无聚合物的压电陶瓷系统可 实现极低的排气率. 规格 P-561.3CD P-561.3CL P-562.3CD P-562.3CL P-563.3CD P-563.3CL P-561.3DD 单位 公差 PIMarsXYZ压电陶瓷纳米定位系统, 闭环行程

100 *

100 *

100 200 *

200 *

200 300 *

300 *

300 45 *

45 * 15,直接驱动 微米 运动和定位 集成传感器 电容式 电容式 电容式 电容式 -20至120伏时的开环行程

150 *

150 *

150 300 *

300 *

300 340 *

340 *

340 58 *

58 *

18 微米 +20 % / -

0 % 分辨率,开环 0.2 0.4 0.5 0.1 纳米 典型值 分辨率,闭环 0.8

1 2 0.2 纳米 典型值 线性误差 0.03 0.03 0.03 0.01* % 典型值 X/Y/Z向上的重复精度

2 /

2 /

2 2 /

2 /

4 2 /

2 /

4 2 /

2 /

2 纳米 典型值 X、Y向上的螺距 ±1 ±2 ±2 ±3 微弧度 典型值 θX、θY向上的串扰(Z向运动) ±15 ±20 ±25 ±3 微弧度 典型值 X、Y向上的偏转角 ±6 ±10 ±10 ±3 微弧度 典型值 X、Y向上的平面度 ±15 ±20 ±25 ±10 纳米 典型值 X、Y向上的串扰(Z向运动) ±30 ±50 ±50 ±20 纳米 典型值 机械特性 X/Y/Z向上的空载谐振频率

190 /

190 /

380 160 /

160 /

315 140 /

140 /

250 920 /

920 /

1050 赫兹 ±20 % 带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频 率-145 /

145 /

275 120 /

120 /

215 860 /

860 /

950 赫兹 ±20 % 带330克负载时X/Y/Z向上的谐振频 率140 /

140 /

300 130 /

130 /

195 110 /

110 /

170 500 /

500 /

470 赫兹 ±20 % 负载容量**

5 5

5 5 千克 最大 驱动特性 压电陶瓷 PICMAP-885 PICMAP-885 PICMAP-885 PICMAZ向上的P- 885,XY向上的P-