PDF《PIMars纳米定位平台》

888 X/Y/Z向上的电容 5.2 / 5.2 / 10.4 7.4 / 7.4 / 14.8 7.4 / 7.4 / 14.8

38 /

38 /

6 微法 ±20 % 其他 工作温度范围 -20 到80 -20 到80 -20 到80 -20 到80 °C 20.06.2018 P-561.3CD P-561.3CL P-562.3CD P-562.3CL P-563.3CD P-563.3CL P-561.3DD 单位 公差 材料 铝铝铝铝质量 1.45 1.45 1.45 1.55 千克 ±5 % 传感器/电压连接 CD版本: Sub-D 25W3(公头), 1.5米电缆 CL版本: LEMO CD版本: Sub-D 25W3(公头), 1.5米电缆 CL版本: LEMO CD版本: Sub-D 25W3(公头), 1.5米电缆 CL版本: LEMO CD版本: Sub-D 25W3(公头), 1.5米电缆 CL版本: LEMO 推荐电控 E-

503、E-

505、E-

621、E-

712、E-

727 E-

503、E-

505、E-

621、E-

712、E-

727 E-

503、E-

505、E-

621、E-

712、E-

727 E-

503、E-

505、E-

621、E-

712、E-

727 * 带数字式控制器. 使用模拟控制器测量的直接驱动平台的非线性度高达0.1%的典型值. ** 水平安装时(立于表面上,非悬挂式). 因为PI压电陶瓷纳米定位系统无摩擦,所以系统分辨率仅受放大器噪声和测量技术的限制. 所有规格参数基于室温(22°C±3°C). 超殷钢和钛金属版本可供货. 询问定制版本. 20.06.2018 图纸/图片 P-56x.3CD和P-56x.3CL,尺寸单位为毫米 20.06.2018 P-561.3DD,尺寸单位为毫米 20.06.2018 P-562.3CD的响应行为:X、Y、Z向上的步进和稳定在10毫秒以内 订购信息 P-561.3CD 具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,100 微米 *

100 微米 *

100 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量 P-561.3CL 具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,100 微米 *

100 微米 *

100 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量 P-561.3DD PIMars高动态XYZ向纳米定位系统,45 微米 *

45 微米 *

15 微米,电容传感器,平行计量,Sub-D连接器,直接驱动 P-562.3CD 具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,200 微米 *

200 微米 *

200 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量 P-562.3CL 具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,200 微米 *

200 微米 *

200 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量 P-563.3CD 具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,300 微米 *

300 微米 *

300 微米,Sub-D连接器,电容传感器,平行计量 P-563.3CL 具有长行程的PIMars XYZ向纳米定位系统,300 微米 *

300 微米 *

300 微米,LEMO连接器,电容传感器,平行计量