PDF《学士学位毕业论文》

Leak valve;

Piezoelectric ceramic;

Precision adjustable;

Vacuum welding. 东北大学毕业设计(论文) 目录 iii 目录毕业设计(论文)任务书.I 摘要.I ABSTRACT.II 第1章绪论.1 - 1.1 课题研究目的和意义

1 - 1.2 微悬臂梁概述

2 - 1.3 本篇论文的主要工作

3 - 1.4 拟解决的关键技术

3 - 第2章微悬臂梁的表征系统.4 - 2.1 系统概述

4 - 2.2 振动可靠性的研究

5 - 2.3 焊接技术

8 - 2.4 观察窗设计

9 - 2.5 电极引入

10 - 2.6 本章小结

12 - 第3章真空系统的设计与计算

13 - 3.1 主要参数的确定

13 - 3.1.1 圆筒形壳体.13 - 3.1.2 圆形平盖厚度.14 - 3.1.3 真空室内体积.15 - 东北大学毕业设计(论文) 目录 iv 3.2 真空室机组的选择.16 - 3.2.1 确定有效抽速.16 - 3.2.2 初选主泵.16 - 3.2.3 验证主泵.16 - 3.2.4 选取前级泵.17 - 3.2.5 计算抽气时间.17 - 3.3 真空系统的安装调试与维护操作

18 - 3.3.1 真空系统的安装.18 - 3.3.2 真空系统的调试.18 - 3.3.3 真空系统的基本操作规则.19 - 3.3.4 真空系统的日常维护.19 - 3.4 系统机构示意图

19 - 3.5 本章小结

20 - 第4章微流量控制阀的设计.21 - 4.1 微流量控制阀概述

21 - 4.2 压电陶瓷

26 - 4.3 金属―陶瓷的封接结构

32 - 4.4 机构........