PPT《第五章 物理气相淀积》

而阴极暗区和负辉光区不受影响. 辉光放电(glow discharge)小结 1〉定义:气体在低气压状态下的一种自持放电.对玻璃圆柱状放电管两端施加电压,当压力处于1~0.1托的范围时,由阴极逸出的电子在气体中发生碰撞电离和光电离,此时放电管的大部分区域都呈现弥漫的光辉,其颜色因气体而异,故称辉光放电.2〉放电通道:八个区域3〉产生原因:这些光区是空间电离过程及电荷分布所造成的结果,与气体类别、气体压力、电极材料等因素有关,4〉主要应用:①利用它的发光效应(如霓虹灯)和正常辉光放电的稳压特性(如氖稳压管).②利用辉光放电的正柱区产生激光的特性,制做氦氖激光器. 等离子体:具有一定导电能力的气体.由正离子、电子、光子及原子、原子团、分子和它们的激发态所组成的混合气体.(电子是其导电过程中的主要载流子)特点:正、负带电粒的数目相等,宏观呈现电中性.辉光放电属于等离子体中粒子能量和密度较低、放电电压较高类型.其特点:质量较大的重粒子,包括离子、中性原子和原子团的能量远远低于电子的能量,是一种非热平衡状态的等离子体.等离子体鞘层:是电子与离子具有不同速度的一个直接后果.即任何处于等离子体中的物体相对于等离子体来讲都呈现出负电位,并且在物体的表面附近出现正电荷积累. 5.3.2 辉光放电中的碰撞过程 等离子体中高速运动的电子与其它粒子的碰撞 ―维持气体放电的主要微观机制.弹性碰撞:总动能不变,粒子内能不变.不会造成气体分子的电离.非弹性碰撞:部分电子动能转化为粒子的内能.维持自持放电过程的主要机制.①电离过程C 使电子数目增加,放电过程继续;

e-+Ar→ Ar++2e-反过程为........