PDF《江苏捷捷微电子股份有限公司》

2 340,000.00 2,244,000.00

13 LPCVD PEO

603 240,000.00

1 240,000.00 1,584,000.00

14 干法刻蚀机 Rainbow

4520 180,000.00

1 180,000.00 1,188,000.00

15 干法刻蚀机 490U 120,000.00

1 120,000.00 792,000.00

16 干法刻蚀机 Autoetch 490B 120,000.00

1 120,000.00 792,000.00

17 干法刻蚀机 Eureka UKA625A3 180,000.00

1 180,000.00 1,188,000.00

18 干法刻蚀机 P5000 180,000.00

1 180,000.00 1,188,000.00

19 干法刻蚀机

8605 180,000.00

1 180,000.00 1,188,000.00

23 高真空蒸发系统 ei-5z(EGL-110) 240,000.00

3 720,000.00 4,752,000.00

24 晶圆检测系统

6200 240,000.00

2 480,000.00 3,168,000.00

25 晶圆检查系统

2133 120,000.00

1 120,000.00 792,000.00

26 测试系统 PARSET 180,000.00

1 180,000.00 1,188,000.00

27 砂轮划片机 A-WD-10B 66,000.00

5 330,000.00 2,178,000.00

28 分选机 MS100PLUS 140,000.00

1 140,000.00 924,000.00

29 贴膜机 SK-W80B 60,000.00

1 60,000.00 396,000.00

31 浓度检测仪 P11 180,000.00

1 180,000.00 1,188,000.00

32 电阻率测试系统 RS55/tc 240,000.00

1 240,000.00 1,584,000.00

33 扫描电镜 S-8820/8840 20,000.00

1 20,000.00 132,000.00 小计:

55 6,238,000.00 41,170,800.00 芯片国产设备 序号 设备、仪器名称 型号 单价(元) 数量 人民币

1 抛光机 X62 305-1 ........