PDF《金属表面处理用混合硅烷体系中硅烷水解度的测定》

第4 0卷第4期重庆大学学报Vol.

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0 1 7年4月JournalofC h o n g q i n gU n i v e r s i t y A p r .

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9 金属表面处理用混合硅烷体系中硅烷水解度的测定 羡小超, 李立新, 赵朔, 谭世语 , 周志明 ( 重庆大学 化学化工学院, 重庆

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4 4 ) 收稿日期:

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1 5 基金项目: 教育部高等学校博士学科点专项科研基金(

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中央高校基本科研业务费科研专项( C Q D XWL

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7 ) . S u p p o r t e db yR e s e a r c hF u n df o rt h eD o c t o r a lP r o g r a mo fH i g h e rE d u c a t i o no fC h i n a (

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4 2) a n d F u n d a m e n t a lR e s e a r c hF u n d s f o r t h eC e n t r a lU n i v e r s i t i e s ( C Q D XWL

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7 ) . 作者简介: 羡小超(

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8 2 ) , 男, 重庆大学副教授, 主要研究方向: 金属表面腐蚀防护, ( E m a i l ) : x i a n x c h @1

6 3. c o m. 摘要: 硅烷工作液的水解度数据可为建槽过程中浓缩液稀释倍数以及硅烷工作液循环利用 研究提供重要依据.以双 (

3 三甲氧基硅基丙基) 胺( B A S ) 和乙烯基三乙酰氧基硅烷( VTA S) 的混 合体系为研究对象, 异丙醇为内标物, 采用气相色谱内标法对 B A S / VT A S体系中两种硅烷的水解 产物 CH3OH 和CH3 C OOH 的浓度进行精确定量, 并通过计算得到两种硅烷的水解度数据.该方 法的有效性采用红外光谱法、 极化曲线和 C u S O

4 点蚀法进行验证.结果表明: 气相色谱法能够有 效、 快速地表征 B A S / VTA S混合体系中两种硅烷的水解度, 其结果可作为硅烷水解液性能评判的 定量依据. 关键词: 硅烷;

水解度;

表面处理;

气相色谱;

内标法 中图分类号: T G

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4 文献标志码: A 文章编号:

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0 8 遄 嶙 遄 遄淋 , 樽, 侠 , 淋 ( ) , 樽(SchoolofC h e m i s t r ya n dC h e m i c a lE n g i n e e r i n g , C h o n g q i n gU n i v e r s i t y , C h o n g q i n g4

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0 4 4, P. R. C h i n a ) :Thed a t ao fh y d r o l y s i sd e g r e ei sa ni m p o r t a n to p e r a t i o np a r a m e t e rf o rt h ec y c l i n gu t i l i z a t i o no f s i l a n e sa n d d i l u t i o n o f c o n c e n t r a t e d s o l u t i o n i n t h e b u i l d i n g o f s i l a n e b a t h.I n t h i s p a p e r ,b i s [ t r i m e t h o x y s i l y l p r o p y l ]a m i n e ( B A S)a n dv i n y l t r i a c e t o x y s i l a n e ( VT A S)w e r eu s e da sr a w m a t e r i a l s , i s o p r o p y l a l c o h o lw a sa d o p t e da si n t e r n a ls t a n d a r d , a n dg a sc h r o m a t o g r a p h y w a su s e dt od e t e r m i n et h e h y d r o l y s i sd e g r e eB A Sa n dVTA Sb ym e a s u r i n gt h ec o n c e n t r a t i o no f t h e i rh y d r o l y s a t e s , CH3OHa n dCH3 C OOH, r e s p e c t i v e l y . T h ee f f e c t i v e n e s so ft h eg a sc h r o m a t o g r a p h y w a sc o n f i r m e df u r t h e rb yi n f r a r e d s p e c t r u m, p o l a r i z a t i o nc u r v e sa n d C u S O

4 d r o pt e s t . T h er e s u l t si n d i c a t et h a tg a sc h r o m a t o g r a p h yc a n c h a r a c t e re f f e c t i v e l ya n dr a p i d l y t h eh y d r o l y s i sd e g r e eo f s i l a n e s i nB A S / VT A Ss y s t e m, a n d t h e r e s u l t s c a n o f f e rq u a n t i t a t i v eb a s i s f o r t h ee v a l u a t i o no f t h ep r o p e r t yo f s i l a n e . :silane;