PDF《生产设备》

04 VITRUM II 在线湿法设备,用于蚀刻、清洗与单面镀膜 VITRUM II 在线湿法设备,用于蚀刻、 清洗与单面镀膜 VITRUM II Cover是VITRUM 系列产品中的新工艺设 备,专门用于以单一工序来清洁薄膜太阳能电池的 后侧和边缘部位包裹的涂层.在用刷子和化学品清 洁边缘和后侧的同时,活性层得到了工艺罩的保 护.因此VITRUM II 罩最适用于槽式镀膜工艺过程 之后的清洁,以及对后侧和边缘不需要的覆膜进行 蚀刻,如CdTe 或CdS. VITRUM II 的模块化设计便于根据CIS、 a-Si 或CdTe 技术(蚀刻、后侧和衬底边缘蚀刻、清洗以 及单侧覆膜)整合不同工序.

05 主要特点 → → 模块化设计 → → 最多节省30 %的成本 → → 更容易的进入维护 → → 占地面积较小 → → 使用成本低 → → 高产能 → → 高可靠性(架动率>

99 %*) → → 标准衬底和客户定制的衬底最大达2,600 毫米 → → 高产能平行载具 → → 可重复的工艺结果 * 取决于具体应用 VITRUM II为在线湿法工序提供了平台:在一条 CdTe 生产线上,它能执行多道工序,从清洗玻 璃开始,一直到去除后侧覆膜、用滚动滤芯沉积 CdCl

2、去除CdCl2以及磷酸硝酸刻蚀. 在生产薄膜硅太阳能电池或CIS/CIGS电池的过 程中,VITRUM能够清洗玻璃以及进行TCO蚀刻、KCN蚀刻或NH3处理.此外,它还能为长达 2,200 毫米的衬底进行NP、DAE 以及 EDTA 蚀刻. 通过我们新开发的独特温和喷淋工艺,实现了均 匀、可靠而可复制的蚀刻.不仅如此,与在线浸渍 相比,它还具备诸多优势,例如减少工艺体积、节 省能耗和化学品,以及以最小的带药量将工艺速度 提高到5米/分钟. VITRUM II的设计对各种液体回路采用了类似的管 路系统,并安装了足够空间的安装柜来优化维修工 作.由于生产节拍高,并且采用了模块化概念,很容 易集成到现有生产线中.有了新型VITRUM II,就能 充分降低工艺成本. VITRUM II Clean → → 在线清洁设备(2200/1400/600) → → 预冲洗和单侧刷洗(酸/腐蚀剂) → → 在线最终冲洗(瀑布式清洗机),无金属 → → 在线标准冲洗、抛光与刷涂机(玻璃腐蚀) → → 超声波和兆声波辅助(颗粒去除) VITRUM II 蚀刻 → → 在线蚀刻设备(2200/1400/600) → → 在线TCO蚀刻机(HCl/HF) → → 在线 KCN蚀刻机 → → 在线NP蚀刻机 → → 在线CuCl2蚀刻机 → → 在线光刻胶显影剂 → → 在线CuCl2去除 VITRUM II Cover → → 在线蚀刻设备 → → 去除边缘和背面周围包裹的涂层 → → 活性层保护(液体或蒸气都无法侵袭到 → → 活性层) VITRUM II Coat → → 通过软体滚芯进行薄盐膜的在线湿法 → → 沉积(如CdCl

2、CuCl2 或NaCl) → → 自动过程控制 → → 单侧覆膜 → → 极高的材料利用率 周边设施管理 德国新格拉斯科技集团公司同时还供应: → → 化学品混合系统 → → 废水处理 → → 废气清扫装置 → → 去离子水

06 TENUIS II 适用于CIGS&

CdTe薄膜太阳能电池化学缓冲层 沉积工艺的模块化设备 德国新格拉斯科技集团是CIS/CIGS薄膜太阳能电池化 学缓冲层沉积设备的市场领跑者.TENUIS II设备着重 降低生产成本,对CIS/CIGS薄膜太阳能电池生产具有 重大意义. TENUIS工业生产设备拥有模块化集群系统,占地面积 较少,并能同时对两面衬底进行镀膜. TENUIS II在调试阶段和量产阶段都具备优势.凭借新 型集群设计,设备在经过简短的安装后就可以开始调 试,并镀第一面衬底.剩余集群可以同时或先后进行 组装.相应地,TENUIS II满足了缩短调试及量产时间 方面日益增长的市场需求. 主要特点 → → 公认成熟工艺: 极高的电池转换效率和低风险 → → 已有超过150个工艺组件投入生产(世界领先) → → 化学品消耗极低 → → 全自动化在线系统 → → 单面沉积,包括防止背面污染 → → 模块化设备(为提高产量而实现轻松升级) → → 可重复工艺结果 → → 自动加药和混药系统 → → 无镉缓冲层沉积 新一代TENUIS设备在生产高性能CIS/CIGS太阳能薄膜 电池方面具有显著的成本优势.对应用和温度的控制 减少了工艺时间,大大提高了生产线的产量. 新设备可以使用备选缓冲层,使用硫化锌来代替硫化 镉. 凭借加药和温度控制方面新颖而独特的理念,集团的 开发人员成功将加工时间缩短了30 %,提高了设备的 生产量.此外,根据工艺调整温度并适时有效的加药 大幅降低了成本.这一新设备不断挖掘薄膜太阳能电 池生产节约成本方面的潜力. 新一代TENUIS设备在生产高性能CIS/CIGS太阳能薄 膜电池方面具有显著的成本优势.此外,根据工艺调 整温度并适时有效的加药大幅降低了生产成本,为节 约薄膜太阳能电池生产成本方面提供了更多可能性. 德国新格拉斯科技集团提供的湿法处理设备适用于研 发、实验室生产及