PDF《生产设备》

80、150和300MW的全线生产. 为提高生产量,还可以将多个生产设备组合成一个大 型生产综合体.

08 CISARIS 硒化反应炉,用于形成理想的CIGS吸收层 CISARIS 反应炉是一种在线快速热处理RTP设备,用于在大面积玻璃衬底上形成CIGSSe吸收 层.CISARIS由一个装卸站、一个真空密封工艺站 以及一个回转传送带构成,是大规模生产CIS太阳 能组件的理想设备. CISARIS的主要特点包括高开动率、高机械成品 率、快生产节拍,再加上强大的硒化工艺,根据配 置的不同,能实现年均25 MWp以上的生产能力. 主要特点 → → 第二代在线硒化加热炉,优化了生产节拍 → → 对带有金属前驱体涂层(CIG) 的玻璃衬底 进 行快速加热(高达

4 °C/秒) → → 均匀的气体分布,通过优化进气系统而降低了耗 气量 → → 可在各种工艺过程阶段引进硫化氢和硒化氢气体 → → 通过运用优化的红外线辐射器而将大型衬底均匀加 热到

600 °C 以上,从而按要求保证结晶质量 → → 将衬底均匀冷却,避免玻璃翘曲变形 → → 在各工艺过程阶段都能实现优异的温度控制(平均 温度变化 <

5 °C) → → 在大气压强下进行真空工艺处理 → → 通过抽真空和吹扫循环保证了工艺过程环境中没有 氧气和水蒸气 → → 先进的维修理念,所有机器部件都能最方便维护 → → 成熟的安全系统源于可靠的风险管理和安全工程 设计

09 CISARIS 硒化反应炉,用于形成 理想的CIGS吸收层 CISARIS最近由德国新格拉斯科技集团根据上一代 的硒化反应炉研发而成,是一种成熟而富于创新而 可靠的设备. CISARIS可以在温度高达600 °C以上 的有毒腐蚀性 气体环境中,对1平方米以上的大型玻璃衬底进行 安全的热加工.出色的加热和冷却速度,再加上在 各加工阶段都能保持优异的温度均匀性,使得生产 高效能太阳能模块所需的理想CIGSSe吸收层得以 形成.

10 垂直运输基材的在线溅射设备 适用于不同应用的模块化设备 VISTARIS 适用于不同应用的模块 化设备 VISTARIS溅射设备 德国新格拉斯科技集团为满足光伏产业的需求研发了 VISTARIS设备,这类在线式溅射设备对如今的CIGS &

CdTe薄膜电池生产起着重要的作用.凭借先进的工艺 技术,VISTARIS能够在提高薄膜电池效率的同时降低 生产成本.在光伏技术方面,集团开发并制造的镀膜 设备可以镀特殊膜以及不同材料的多层膜. 以正面透明或背面金属导电层以及各种材料组成的多 层前驱体涂层为例,该设备的主要优势在于,它可对 太阳能和显示屏产业所需的玻璃衬底进行真空立式镀 膜.此外,还为CIGS/CIS电池生产添加了新的工艺阶 段. 标准性能数据 → → 集成供电设计 → → 不需来回运输 → → 完全垂直定向运输 → → 独特的运送系统 → → 在设备同一侧装载和卸载基板 → → 通过使用旋转圆柱形磁电管实现最大程度使用靶材 → → 沉积前和沉积中可控制温度 → → 通过动态阀和/或独立闸室分离气体 → → 通过改变腔室方向达到最小占地面积 → → 简易维护,低运行成本 → → 快速更换靶材,适用于各供应商的靶材 → → 易于扩大生产 → → 真空底压:<

1 x 10-6 mbar → → 标准工艺压力:2 -

5 x10-3 mbar

12 HISTARIS适用于水平基板运输的在线溅射设备 德国新格拉斯科技集团旗下的HISTARIS设备是为满足 光伏产业要求而开发的,同时也适用于建筑玻璃、燃料 电池和移动设备等大面积溅射应用.在线溅射设备在当 今光伏行业CIGS &