编辑: f19970615123fa 2019-07-01

12 划》,要求瞄准全球科技前沿,聚焦产业升级、民生改善、生态治理等重大需 求,强化资源集成和协同创新,动员社会资本等各方力量参与,加快推进集成 电路装备、新药创制等重大专项,推动我国科技实力和竞争力整体跃升.

2017 年4月,科技部发布《 十三五 先进制造技术领域科技创新专项规 划》 ,针对移动通信、大数据、新能源、智能制造、物联网等重点领域大宗产品 制造需求,重点围绕 28-14 纳米技术节点进行工艺、装备和关键材料的协同布 局,形成28-14纳米装备、材料、工艺、封测等较完善的产业链,推动全产业链 专项成果的规模化应用,促进产业生态的改善和技术升级,实现技术促进产业 发展目标.面向集成电路14-10纳米先进工艺,重点开展刻蚀、薄膜、化学机械 处理、掺杂和检测等关键装备及其配套核心零部件产品研发,通过大生产线考 核并进入销售.面向宽禁带半导体器件、光通讯器件、MEMS(微机电系统)器件、功率电子器件、新型显示、半导体照明、高效光伏等泛半........

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