2.6 外置 Z 轴高精度超高速 PIZEO 控制器,最小步进 5nm,最大行 程100um. 2.7 高精度扫描台:行程:130mm x 100mm;
步进精度:0.2um;
重 复精度:+/- 1um 2.8 六位电动滤色镜转盘,含UV、B、G 激发滤色镜组件,光陷阱 技术以........