PDF《数字式气体质量流量计和控制器》

4 带整体式电磁阀的MASS-STREAM?系列,体积紧凑,流量范 围可达1000 ln /min(等值空气).整体式电磁阀的标准Kv值有:0.066,0.17,0.35和10. 高于1000 ln /min(等值空气)的流量控制则需要分体阀来实 现,Kv值高达6.0.(我们提供定制的阀门和组件来满足用户的 特殊需求.)

5 标准测量范围 型号 D-6310 D-6320 D-6340 D-6360 D-6311 D-6321 D-6341 D-6361 型号 D-6370 D-6380 型号 D-6371 D-6373 + D-6383 dimensions on request D-6300 尺寸 (毫米) ' ) ( $ ' ) ( $ * $ ' , * + ( ) % & % & % & ' ) ( $ ' ) ( $ * $ ' , * + ( ) % & % & % & ' ) ( $ ' ) ( $ * $ ' , * + ( ) % & % & % & 型号 A B C D E F G H I D-6310

95 G1/4" G1/4"

34 15

117 D-6320

95 G1/4" G1/4"

34 15

117 D-6340

95 G1/4" G1/4"

34 15

114 D-6360

95 G1/2" G1/2"

34 16

122 D-6370

117 G1/2" G1/2"

58 25

136 95 D-6380

143 G1" G1"

83 37,5

164 95 D-6311

95 G1/4" G1/4"

34 15

117 D-6321

95 G1/4" G1/4"

34 15

117 D-6341

95 G1/4" G1/4"

34 15

114 D-6361

110 G1/2" G1/2"

34 16

122 95 D-6371

192 G1/2" G1/2"

65 25

136 95

10 175 质量流量控制器 流量范围(等值空气) 型号 D -

6311 - F?? - BB - ?? -

22 - ? - S - D ? 0.01...0.2 ln/min -

23 - 0.1...2.0 ln/min D -

6321 - F?? - BB - ?? -

13 - ? - S - D ? 0.05...1.0 ln/min -

99 - 0.35...7.0 ln/min D -

6341 - F?? - BB - ?? -

99 - ? - S - D ? 0.14...7.0 ln/min -

54 - 1.0...50.0 ln/min D - 6361*- F??- CC - ?? -

24 - ? - S - D ? 0.4...20.0 ln/min -

25 - 4.0...200 ln/min D - 6371*- F?? - CC - ??-

15 - ? - S - D ? 2.0...100 ln/min -

16 - 20.0...1.000 ln/min D -

6383 - Z??- DD - ??-

55 - ? - S - D ? 10.0...500 ln/min -

56 - 100...5.000 ln/min 质量流量计 流量范围(等值空气) 型号 D -

6310 - H?? - BB - ?? -

22 - ? - S - D? 0.01...0.2 ln/min -

23 - 0.1...2.0 ln/min D -

6320 - H?? - BB - ?? -

13 - ? - S - D? 0.05...1.0 ln/min -

99 - 0.35..7.0 In/min D -

6340 - H?? - BB - ?? -

99 - ? - S - D? 0.14...7.0 ln/min -

54 - 0.5...50.0 ln/min D -

6360 - H?? - CC - ?? -

24 - ? - S - D? 0.4...20.0 ln/min -

25 - 2.0...200 ln/min D -

6370 - H?? - CC - ?? -

15 - ? - S - D? 2.0...100 ln/min -

16 - 10.0...1.000 ln/min D -

6380 - H?? - DD - ?? -

55 - ? - S - D? 10.0...500 ln/min -

56 - 50.0...5.000 ln/min (* 同样适用于D-6363和D-6373) 技术参数和结构变更,恕不另行通知. 量程可调 量程可调 转换系数 MASS-STREAM?系列质量流量计和控制器是基于 空气来校准的. 使用其它气体或混合气体时, 需要 应用转换系数. 这个系数是由复杂的公式计算得出 的. 右表列出了一些常见气体的转换系数. 上表所列转换系数仅供参考.实际的转 换系数取决于工况参数,如介质温度、 工作压力和气体的物理特性等.最佳的 测量精度可以在实际工况条件下进行校 准得到. 转换系数会产生额外的绝对精 度误差.当转换系数CF>1,这个误差是2 x CF (%满量程);

若CF