PDF《一胜百》

8 硬质涂层 一胜百 PVD 技术、 原理及设备 一胜百采用领先全球的集团内公司 Eifeler 的最新 PVD 涂层技术. 具有专利的 Alpha 系列 PVD 涂层机以其优异的性能在业界得到了广泛使用. Alpha 电弧离子 PVD 设备是一种采用电弧离子 PVD 技术在工模具、 零部件或刀具表面涂覆金 属基导电硬质涂层的反应性真空镀膜设备. 电弧离子PVD技术是指借助于电弧产生PVD工艺 所需的金属离子和原子. 靶材和腔体被连接到DC电源,前者作阴极,而后者作为阳极. 通过阳 极触针和阴极之间的辅助放电来点燃电弧,之后阳极和靶材间产生持续放电, 将靶材蒸发并 离子化成极其细小的微观粒子. 借助于永磁体的作用可将电弧局限在靶材表面, 并使其以随机的圆形在靶材表面移动. 靶材生 成的离子、 原子与离子化的反应气体生成化学键结合, 并沉积在基材表面形成所需的涂层. 连接 到导电基体(工件)的偏压用于改变离子的能量,进而影响涂层的性能. 为了增强涂层与基底的结合力,通过辉光放电和溅射刻蚀将安装于转盘上的基材做进一步清洁, 然后在基体各面进行涂层处理. 通过辐射加热来间接加热基底以满足 PVD 涂层工艺的需要. 除涂层外 ,Alpha 电弧离子涂层机可以同时实现离子氮化处理. 借助于安装在设备顶部的等离子 体源和腔室底部的阳极, 在涂层室内产生等离子. 通过离子氮化工艺, 可在基材表面产生一定厚 度的渗氮层. 使用配置等离子体源的电弧 PVD系统, 可以一次性连续完成对基材的离子氮化和 后续涂层. 这个过程被称为 Duplex 涂层工艺. 一胜百也采用溅射技术沉积一些特定的涂层,如MoS2 和SUCASLIDE. 溅射是指通过高能离子 冲击靶材,溅射出靶材原子并转化为气体的物理过程. 溅射通常是指溅射沉积, 也属于真空 PVD 涂层工艺. Alpha 900P 电弧离子涂层系统 最大容量: ?750 X880 最大负荷量: 850Kg Alpha400P 电弧离子涂层系统 最大容量: ?450 X485 最大负荷量: 300Kg

9 10 一胜百先进涂层 一胜百先进涂层广泛应用于工模具行业,其主要特性如下 : ? 涂层厚度为

2 - 10微米 ? 高硬度硬质涂层 (2000 -

4000 HV) ? 模具原有表面形貌不受影响 ? 涂层与基体之间的结合力强 ? 涂层与钢材间具有低的摩擦系数 ? 模具使用过程中的冷焊咬合倾向低 ? 耐腐蚀 ? 高温抗氧化 表1. 硬度范围表 维氏硬度 (HV))

240 300

400 500

600 700

800 940

700 至1200

1400 至1800

2000 至8000

10000 洛氏硬度 (HRC)

20 29.8 40.8 49.1 55.2 60.1

64 68 C C C C 钢材或工艺类型 软钢 淬火钢 硬化钢 氮化 硬质 合金 PVD 和CVD 涂层 金刚石一胜百可根据不同的应用,为客户提供广泛但具有针对性的PVD涂层. 例如, 对于冷作模具可 采用高硬度及高耐磨性能的涂层;

对于热作模具采用具有耐热和耐磨性能的涂层;

对于塑胶 模具采用抗腐蚀和耐磨性能的涂层. 为了实现综合性能涂层亦可设计成不同的结构,如单层、 多层或纳米结构. 精心设计的纳米结构涂层不仅具有极高的硬度,而且具有很高的韧性,从而降低裂纹敏感性. 例如先进纳米复合涂层 SISTRAL,不但具备超高硬度,而且具备优异的高温抗氧化性能, 能极 大程度防止高温磨损失效.

11 一胜百DUPLEX涂层技术 一胜百 Duplex 涂层技术是一种无中断、 连续进行离子氮化和随后 PVD 涂层的复合工艺. 采用离子氮化可以提高基体的表面硬度,进而大大提高 PVD 涂层的使........