PDF《微加工简报》

微加工简报 2010年第4期(总第24期)

1 国内进展L-带双工器的高性能设计与制备 纳米超导量子干涉器件具有单自旋测试的灵敏度.

但这些器件只 能测量与器件平面垂直的场信号,而且很难与与其相同一芯片上的磁 信号实现高度耦合.要对平行于衬底的场分量进行准确的测量,就需 要制备垂直于衬底的探测线圈.为此,英国伦敦纳米中心的Ed Roman 等与中科院物理所微加工实验室合作,利用FIB直写工艺生长超导物 纳米结构,实现了超导量子干涉器件的三维纳米探测线圈的制备了. 外加局部场后线圈的响应特性研究表明其迈斯纳屏蔽渗透深度 ???(0)=330 nm,与BCS理论一致.该工作发表在 Appl.Phys.Lett.

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222506 上. 超导量子干涉器件三维纳米探测线圈的制备 FIB生长的自由站立的三维钨纳米超导探测线圈(a)及其与 超导量子干涉器件感应耦合示意图(b),(c)与(d)分别为模拟 与实际测量获得到的特性曲线 B-掺杂金刚石表面的金属性研究 光子晶体共振腔波导中的异常光学 传播的近场研究 慢光在集成光电路中的光驰豫,时域光信号处理以及非线性光学 放大中具有潜在的应用,近期吸引了广大研究者极大的研究兴趣.为 获得慢光,硅材料二维光子晶体波导由于具有较宽的带宽并与现有系 统集成工艺兼容而备受关注.与光子晶体不同,光在光子晶体共振腔 波导中是以局部共振模式在腔与腔中跳跃式传播的.鉴此,上海交通 大学的H. H. Tao与中科院物理所李志远研究员课题组合作,利用物理 所微加工实验室的技术手段,设计制备了空气桥型硅基光子晶体共振 腔 波导 ,并研 究了 其近 场光学特 性.这项工 作发表 在OPTICS EXPRESS

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23996 上,得到国家自然科学基金委,国家重点 基础研究计划等项目的资助. 基于金刚石材料器件的优异的性能主要来源于金刚石材料碳原 子间极强的共价键作用.为了进一步拓展金刚石的应用领域,研究 人员开展了在金刚石中掺杂碱土金属的研究.其中除了B元素以外, 其他的碱土金由于原子直径比C原子大很多,都无法实现高浓度掺杂. 中科院物理所微加工实验室的路超等人,研究了B掺杂金刚石中掺杂 情况对金属-绝缘体转变以及电子-声子耦合作用的影响.详细讨论了 金刚石表面微结构、能带结构、稳定性以及其金属性随着金刚石表 面取向、B原子掺杂的位置以及浓度变化的相关规律与机制.该结果 发表在Diamond &

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19 (2010) 824上,得到国家 自然科学基金委项目的资助. 双工器是异频双工电台、中继台的主要配件,其作用是将发射和 接收的信号相互隔离,保证接收和发射都能同时正常工作.采用HTS 制作的滤波器带内插入损耗小,带边陡度高,带外抑制强,在移动通 讯、雷达与卫星通信领域均很有吸引力.然而在目前诸多的双工器的 研究中,还没有考虑到其群延迟效应,而这一参数在通信领域就如带 宽的高选择性参数一样重要.中科院物理所的何豫生研究员课题组与 微加工实验室合作,在2英寸生长有双面YBCO 薄膜的LaAlO3基片上 设计制备了高性能L-带双工器.该器件的插入损耗为0.2dB, 回波损耗 优于-14.4dB, 具有高隔离性能,平坦的群延迟以及深带外抑制性能. 该结果发表在 Chinese Science Bulletin

55 (2010) 3527上,得到中 科院对外合作项目与知识创新工程项目的资助. 双工器结构图与测试特性 表面掺有2个B原子的具有13层C原子的金刚石(100)结构以及 单个B原子在替换不同原子层中的C原子时与层数相关的能带图 空气桥型硅基光子晶体共振腔 波导SEM图及近场光学传播特性 (g) 微纳米加工技术高级培训班 在物理所成功举办 在中国科学院人教局和计财局的资助下,由中国科学院物理研究所主办的 微纳米加工技术高级 培训班 于2010年11月25日至12月3日在物理所成功举行.本次讲习班免费面向中科院系统从事纳 米领域研究的科技人员,吸引了近100名科技人员参加,其中包括物理所、化学所、半导体所、微 电子所、国家纳米中心、理化所、力学所、生物物理所、苏州纳米所和合肥物质院等12个科学院 研究所的近60名正式学员.本次培训班将微纳米加工技术基础知识讲授与先进微加工设备介绍和 实际操作相结合,聘请了国内外相关领域的专家讲授微纳米加工技术的理论、进展与应用,并由 经验丰富的技术人员对学员进行相关设备的操作培训.通过培训,学员对各种微纳米加工技术及 其应用有了一个全面和系统的了解,为进一步在科研工作中应用这些技术奠定了基础,对中科院 微纳米科学与技术的发展和该领域人才的培养起到了积极的促进作用. 具有圆形反量子点孔洞的三角形石墨烯中反量子点晶格片段 (a),反量子点晶格原包结构(b)和反晶格结构中的导带分散与 带宽特性(c)以及反晶格结构中的声子密度(d) 国外进展微加工简报