PDF《微加工简报》

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147402 上. 亚微米量级尺寸的石墨烯在室温下具有弹道输运特性,并且在 不改变电荷迁移率的情况下,可实现重掺杂. 这些特性引起人们极 大的关注.但是石墨烯中没有能带结构,因此无法通过电压进行电 导调制.为了在石墨烯中引进能带,人们在石墨烯超晶格的电子特 性方面开展了大量的研究工作.其中常用的方法之一是用电子束光 刻相关的工艺在石墨烯层制备纳米孔洞.巴塞尔大学的Vladimir M. Stojanovi?等人使用考虑到π电子交换积分的声子耦合模型研究了 石墨穿孔超晶格.作者用两种不同的半经验方法计算了所选穿孔石 墨超晶格的声子谱.基于采用的模型,通过计算准粒子权重量化了 点荷载流子的特性.发现了很强的声子诱导的重归一化过程,同时, 当反量子点的直径一定时,有效电子质量随超晶格周期非单调变化. 该成果发表在Phys. Rev. B

81 (2010) 041408R 上. 石墨烯反量子点结构中电子-声子耦 合中的极化行为 (c) (d) 微纳尺度三维互连线电化学沉积直写技术 新月形液桥 三维电化学 沉积设备示 意图与沉积 的Cu 线 随着三维集成电路的进一步发展,传统的打孔工艺已满足不了 多功能三维混合集成中对可靠的,灵活的互连线制备的需求.美国 伊利诺斯大学的Jie Hu and Min-Feng Yu研究发展了一种基于新月 形液态电桥的电化学沉积与三维空间精确的压电位移控制手段结合 的方法,成功的制备了微米,纳米尺度的三维空间金属导电互连线. 此工艺可在大气环境中进行,三维导电结构的形状,尺寸以及材料 的种类均可通过不同的参数获得精确的控制;

提供了一种高效可靠 的制备高密度、高质量、复杂三维结构的微纳金属导电连线的方法. 该成果发表在Science 329(2010) 313上. 2010年第4期(总第24期) ........