PPT《蓝宝石衬底上化学气相沉积法生长石墨烯》

蓝宝石衬底上化学气相沉积法生长石墨烯 刘庆彬,蔚翠,何泽召,王晶晶,李佳芦,伟立,冯志红 河北半导体研究所, 专用集成电路国家级重点实验室, 石家庄

050051 (a)直径为50 mm的晶圆级蓝宝石衬底上石墨烯的照片;

(b) B=5T时不同温度下生长的晶圆级石墨烯样品非接触霍尔测试;

(c)生长样品的 I D / I G 比值的Raman-mapping;

(d)生长样品方块电阻Mapping测试 (c) the scanning area is

20 μm *

20 μm;

(c, d) T =

1200 ℃ 物理化学学报,2016,32(3),787-792.

DOI:10.3866/PKU.WHXB201512183