PDF《19690.137 外延片 18214.002》

江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书 河南金环环境影响评价有限公司

57 去胶退火N极图形光刻 清洗金属沉积 剥离退火刻蚀BOE 刻蚀液 31500(HF

4725、NH4F26775) G HF472.

5 472.5 S 废刻蚀液 (HF3264.

3、NH4F22439.

25、氟硅酸 2.

655、水0.63) 25706.835 25013.459 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 酚醛树脂 1406.7225 废蚀刻液(HF988.2,NH4F4335.75) 清洗W废水(含HF988.2,NH4F4335.75) 5323.95 19689.51 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 酚醛树脂 1406.7225 G 丙酮 2051.55 2051.55 S 废液(含丙酮 18463.

95、酚醛树脂 1046.7225) 19870.6725 丙酮 20515.5 20515.5 18282.787 外延片 18213.374 氧化铟 69.413 G 有机废气(丙二醇甲醚醋酸酯 451.8) 451.8 S 废胶(酚醛树脂 2033.1) S 废液 (含四甲基氢氧化铵 6107.

4、 水95684.

6、 酚醛树脂 406.62) 2033.1 102196.62

106308 19909.267 外延片 18213.374 氧化铟 69.413 酚醛树脂 1626.48 铬25.9425 铂17.01 金383.445 426.3975 20356.948 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬27.2475 铂17.865 金402.57 酚醛树脂 1626.48 20356.948 铬1.305 铂0.855 金19.125 胶带 21.285 丙酮 20515.55 20515.55 18707.0535 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬25.812 铂16.9245 金381.5325 18707.0535 G 丙酮

2052 2052 W 废水(含丙酮1026 , 铬0.006525 、 铂0.004275 、 金0.09563) 19066.00208 1026.106425 18707.0535 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬25.812 铂16.9245 金381.5325 光刻胶 4518(酚醛树脂 4066.

2、丙二醇甲醚 醋酸酯 451.8) 显影液 101790(四甲基氢氧化铵 6107.

4、水95682.6) 18707.0535 19690.137 外延片 18214.002 氧化铟 69.4125 酚醛树脂 1406.7225 18282.787 外延片 18213.374 氧化铟 69.413 18282.787 外延片 18213.374 氧化铟 69.413 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书 河南金环环境影响评价有限公司

58 剥离SiO2 生长 光刻刻蚀清洗去胶研磨P型图形光刻 金属沉积 G 有机废气(丙二醇甲醚醋酸酯 1752.3) 1752.3 S 废胶(酚醛树脂 177420.375) S 废液(含四甲基氢氧化铵 6107.

4、水95682.

6、酚醛树脂 1577.07) 177420.375 103322.07 光刻胶 17523(酚醛树脂 15770.

7、丙二醇甲醚醋 酸酯 1752.3) 显影液 101790(四甲基氢氧化铵 6107.

4、水95682.6)

119313 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬25.812 铂16.9245 金381.5325 25015.3335 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬25.812 铂16.9245 金381.5325 酚醛树脂 6308.28 18707.0535 25015.3335 铬25.9425 铂17.01 金383.445 25463.018 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬53.0595 铂34.7895 金784.1025 酚醛树脂 6308.28 铬1.305 铂0.855 金19.125 胶带 0.946 G 丙酮 2501.55 2501.55 W 废水 376000(含丙酮 45.59,铬0.

00029、铂0.

00019、金0.00425) 1025.8814 丙酮 25015.5 19131.3245 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬51.624 铂33.849 金763.065 23748.2521 25463.018 19131.3245 氧化亚氮 4.86 硅烷混合气 4.14 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬51.624 铂33.849 金763.065 SiO26.75 水蒸气、氮气等 2.25 19138.0725 9.0 2.25

119313 光刻胶 17523(酚醛树脂 15770.

7、丙二醇甲醚醋 酸酯 1752.3) 显影液 101790(四甲基氢氧化铵 6107.

4、水95682.6)

119313 G 有机废气(丙二醇甲醚醋酸酯 1752.3) 1752.3 S 废胶(酚醛树脂 7885.35) S 废液 (含四甲基氢氧化铵 6107.

4、 水95682.

6、 酚醛树脂 1577.07) 7885.35 103322.07 25446.3525 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬51.624 铂33.849 金763.065 SiO26.75 酚醛树脂 6308.28 25446.3525 BOE 刻蚀液