PDF《19690.137 外延片 18214.002》

编辑： 没心没肺DR 2013-11-25

224225 合计

224225 图3.3-6 氨气物料平衡图(kg/a) 蓝绿光外延 氨气224225 进入外延片 508.95 进入尾气吸收塔 223716.05 尾气 8948.642 废水站 214767.408

4、本项目铟主要用于蓝绿光外延生产过程,具体铟平衡情况见表 3.3-8. 表3.3-8 铟物料平衡表 (kg/a) 投入 产出 物料名称 数量 去向 物料名称 数量 三甲基铟 68.29 (全部用于蓝绿 光外延片生产用) 用于蓝绿光 外延片生产 进入产品 外延片 67.88 固废 不合格外延 片0.41 氧化铟 57.78 (全部用于芯片 生产用) 用于芯片生 产 进入产品 芯片 57.19 废水 切割废液 0.28 固废 不合格芯片、废蚀刻 ........

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