PDF《19690.137 外延片 18214.002》

31500 (HF

4725、NH4F26775)

31500 G HF472.5 472.5 25706.835 W 废水(含HF988.2,NH4F4335.75) 5323.95 30769.6745 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬51.624 铂33.849 金763.065 SiO26.12 酚醛树脂 6308.28 HF988.2 NH4F4335.75 30769.6745 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬51.624 铂33.849 金763.065 SiO26.12 酚醛树脂 6308.28 25445.7425 丙酮 20515.5 20515.5 G 丙酮 2051.55 2051.55 S 废液(含丙酮 18463.

95、酚醛树脂 6308.28) 24772.23 19137.4445 外延片 18213.374 氧化铟 69.4125 铬51.624 铂33.849 金763.065 SiO26.12 19137.4445 金刚石研磨液 52384.5 52384.5 W 金刚石研磨液

5238 外延片碎屑 1548) S 废金刚石研磨液 47146.5 47146.5

6786 S 废刻蚀液 25706.835(HF3264.

3、NH4F22439.

25、氟硅 酸2.

655、水0.63) S 废液(含丙酮 17437.

95、铬0.

123975、铂0.

081225、金1.

816875、、 酚醛树脂 6308.28) 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书 河南金环环境影响评价有限公司

59 切割17589.4425 外延片 16665.372 氧化铟 69.4125 铬51.624 铂33.849 金763.065 SiO26.12 测试、分选、包装 S 不合格芯片 3.4245 17589.4425 W 含边角料 175.968(外延片 166.

635、氧化铟 0.

3375、铬0.

513、 铂0.

3375、金0.7.

65、SiO20.495) 17413.4745 外延片 16498.737 氧化铟 69.075 铬51.111 铂33.5115 金755.415 SiO25.625 175.842 过滤 S 边角料 175.968 (外延片 166.

635、 氧化铟 0.

3375、 铬0.

513、 铂0.

3375、金0.7.

65、SiO20.495) 175.968 175.968 17413.4745 3.4245 进入产品蓝绿光芯片 17410.05 图3.3-5 蓝绿光芯片物料平衡图(kg/a) 图例 G:废气 S:固废 W:废液 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书 河南金环环境影响评价有限公司

60 表3.3-6 蓝绿光芯片生产物料平衡表 投入 产出 物料名称 单位 数量 去向 物料名称 单位 数量 蓝绿光外延片 kg/a

18180 进入产品 17410.05 蓝绿光芯片 kg/a 17410.05 硫酸 kg/a 39319.425 废气 28048.596 硫酸 kg/a 4128.75 盐酸 kg/a 34679.25 盐酸雾 4586.4 丙二醇甲醚醋酸 酯4334.416468 氯气 0.36 氧化铟 kg/a 69.75 丙酮 10258.5 HF 4737.92 水蒸汽、氮气等 2.25 光刻 胶 酚醛树脂 kg/a 39009.66588 固废 802016.779

9 不合格芯片 kg/a 3.4245 丙二醇甲醚 醋酸酯 4334.416468 显影 液 四甲基氢氧 化铵 kg/a 27936.35506 废硫酸 1476.66 废盐酸 1302.4 水437669.5626 废ITO 刻蚀液 33473.25 ITO 刻蚀液 kg/a 37192.5 废光刻胶

27009 氯气 kg/a 10.935 废显影液 461875.3974 三氯化硼 kg/a 4.68 废去胶液

98923 废剥离废液

88474 丙酮 kg/a 102577.5 废BOE 刻蚀液 4388.68 铬kg/a 51.885 废金刚石研磨液

84915 边角料 175.968 铂kg/a 34.02 进入废水 9754.91051 ITO 蚀刻液 kg/a 3719.25 金kg/a 766.89 硫酸 87.37 氧化亚氮 kg/a 4.86 盐酸 77.06 硅烷混合气 kg/a 4.14 丙酮 91.19 BOE 刻 蚀液 氢氟酸 kg/a

9450 BOE 刻蚀液 473.24 氟化氨

53550 金刚石研磨液

5238 金刚石研磨液 kg/a 52384.5 外延片碎屑 68.8 合计 857230.335 合计 857230.335

3、 本项目氨气主要用于蓝绿光外延生产过程, 具体氨气平衡情况见表 3.3-7, 图3.3-6. 江西圆融光电科技有限公司新建年产

450 万片外延片和芯片生产线(二期)项目环境影响报告书 河南金环环境影响评价有限公司

61 表3.3-7 氨气物料平衡表 (kg/a) 投入 产出 物料名称 数量 去向 物料名称 数量 氨气 224225(全部用于蓝 绿光外延片生产用) 用于蓝绿光 外延片生产 进入产品 外延片 508.95 废气 未反应氨气 223716.05 合计