PDF《透射电子显微镜样品》

4.2 注意随时观察样品的减薄情况. 中科院宁波材料所 公共技术服务中心 透射电镜实验室 冲压器 冲压 φ φ3mm 3mm 凹坑 大于 大于

40 40μ μm m φ3mm 离子减薄

(二)塑性样品制样流程示意图(金属及其合金等)

(二)塑性样品制样流程示意图(金属及其合金等)

二、块体样品 中科院宁波材料所 公共技术服务中心 透射电镜实验室 研磨 40~100 40~100 μm 离子束 样品较薄 离子减薄

三、薄膜样品 生长面 生长面 衬衬底底PV PV:膜面观察,膜面的均匀度,缺陷等 :膜面观察,膜面的均匀度,缺陷等 CS CS:生长形态信 :生长形态信 息,各层的结构, 息,各层的结构, 界面结构,缺陷等. 界面结构,缺陷等. 平面样品 截面样品 薄膜样品 中科院宁波材料所 公共技术服务中心 透射电镜实验室 基体 基体 膜面 膜面 AB AB胶胶辅助硅片 截面样品 截面样品TEM TEM照片 照片 块体样品制样流程 对粘+块体制样流程 截面样品的制备 1. 选样品 2. 样品的清洗处理 3. 加陪片(常用硅片)粘样品 按照块体样品制备的步骤 中科院宁波材料所 公共技术服务中心 透射电镜实验室

三、薄膜样品 生长面 生长面 衬底 衬底 中科院宁波材料所 公共技术服务中心 透射电镜实验室 切切

三、薄膜样品 块体样品制样流程 块体样品制样流程 切切3mm 3mm 陪片 陪片 3mm 3mm 几点说明 ? 请对具有毒性、腐蚀性、刺激性、易燃、易爆、放射性、磁性等对人员 和仪器有害的样品(包括溶剂和分散介质)作出说明,在此对您的合作 表示感谢;

? 电子束照射样品所产生的温度很高,为保证灯丝具有较长的寿命,以及 镜筒和各级透镜的洁净,对检测样品有一定的要求.低熔点的材料如锡、 钼等会产生相变和蒸镀效应以及在电子束照射下会分解或释放出气体的 样品及有机物、高分子、磁性材料,有可能造成镜筒的污染,请预约前 和我们沟通;

? 如果是易于氧化等特殊情况请先说明,约定时间后请尽快把样品送至实 验室. ? 如有疑问,请致电:86685250(内线8250). 为了提高测试中心仪器的使用效率、保........