PDF《半导体设备龙头,进口替代乘风而上》

15 亿元美金的晶圆厂为例,晶圆厂 70%的投资用于购买设备(约10 亿元美金),设备中的 70%是晶圆的制造 设备,封装设备和测试设备占比约为 15%和10%.晶圆制造设备中,光刻 2018-04-16 北方华创 敬请参阅最后一页特别声明 -7- 证券研究报告 机,刻蚀机,薄膜沉积设备为核心设备,分别占晶圆制造环节设备成本的 30%,25%,25%.

图表 12:晶圆厂半导体设备配置 资料来源:SEMI,半导体行业观察 自给率低,进口替代空间大.2008 年之前我国集成电路设备基本全进口, 因此国家设立国家科技重大专项――极大规模集成电路制造装备及成套工 艺科技项目(简称

02 专项)研发国产化设备.由于设备制造对技术和资金 需求要求比较高,只有北方华创、中微半导体、上海微电子等少数重点企业 能够承担

02 专项研发工作,整个行业集中度相对较高.虽然在

02 专项的支 持下, 我国集成电路设备实现了从无到有, 但相比国内庞大的市场规模而言, 自给率不足 15%.

图表 13:2016 年大陆前十名半导体设备厂商 序号 单位名称 主要产品 应用领域

2016 年营收

1 中电科 离子注入机、 CMP、 键合机、 封装设备 IC、光伏、LED 1.37 亿美元

2 晶盛机电 多晶铸锭炉、 单晶炉等晶体 生长设备 光伏、LED 1.36 亿美元

3 捷佳伟创 制绒设备、扩散设备、清洗 设备 光伏 1.16 亿美元

4 北方华创 刻蚀机、镀膜设备、CVD 设备、氧化扩散设备、清洗 机、辅助设备 IC、光伏、LED 1.04 亿美元

5 中微半导体 MOCVD、刻蚀设备、封装 IC、LED 0.73 亿美元

6 上海微电子 光刻机 IC、其它 0.44 亿美元

7 北京京运通 多晶硅铸锭炉、单晶炉 光伏 0.41 亿美元

8 天通吉成 微电子、精密加工设备 光伏、LED 0.32 亿美元

9 盛美半导体 镀铜设备、抛铜设备、单晶 圆清洗设备 IC 0.25 亿美元

10 格兰达 自动化设备 IC 0.23 亿美元 合计 7.33 亿美元 资料来源:中国半导体协会 2018-04-16 北方华创 敬请参阅最后一页特别声明 -8- 证券研究报告 据中国电子专用设备工业协会的统计,2015 年,国产集成电路设备的产业 销售收入达到 47.17 亿元,同比增长 16.4%,实现利润 10.53 亿元,较上年 增长 24.2%,主要来自于薄膜制造设备、刻烛设备、离子注入设备以及封装 设备的增长.但总体上看,2015 年国内集成电路设备市场规模约为

49 亿美 元,是国内产业销售规模的七倍多.2016 年国内集成电路设备市场规模约 为64.6 亿美元,而大陆前十名的半导体设备厂商营收总额才 7.33 亿美元, 自给率非常低,进口替代空间巨大. 2.

2、北方华创微电子乘风而上

图表

13 中2016 年大陆前十名半导体设备厂商包含了光伏、LED 领域的设 备厂商,而真正在集成电路核心环节制造领域营收较高的只有北方华创、中 微半导体、上海微电子和中电科电子装备有限公司四家.北方华创的产品种 类最多,同时也是唯一上市的集成电路制造设备厂商.

图表 14:我国集成电路制造领域专用设备重点企业 企业 主要产品 北方华创 清洗机、氧化炉、离子刻蚀设备、薄膜生长设备 中微半导体 离子刻蚀设备、电介质刻蚀设备 上海微电子 光刻机 中电科电子装备 离子注入机 资料来源:光大证券研究所整理 北方华创微电子拥有中组部千人计划专家

10 人,先后承担过科技部 十五